具微结构之软性触觉感测器于多轴运动感知之研究 - 科技部工程科技 .pdfVIP

行 精 類 行 年年 行 論 理 利 年 年 附件一 ■ 成 果報告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 具微結構之軟性觸覺感測器於多軸運動感知之研究 計畫類別： ■個別型計畫 □整合型計畫 計畫編號： NSC 97 － 2221 － E － 218 － 020 － 執行期間： 97 年 8 月 1 日至 98 年 7 月 31 日 計畫主持人： 莊承鑫 共同主持人： 計畫參與人員：陳志緯 、李文輝 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交 ) ：▓精簡報告 □完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 ▓出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫、 列管計畫及下列情形者外，得立即公開查詢 ▓涉及專利或其他智慧財產權，▓一年□二年後可公開查詢 執行單位： 中 華 民 國 98 年 8 月 10 日 中文摘要 本研究提出結構化電極的概念並在外層包覆一彈性材料PDMS ，建構出具辨認動態正 向力及與其接觸物件滑動的產生及其方向之軟性觸覺感測器。有別於一般傳統的壓電型觸 覺感測器，我們利用微機電製程設計製作微電極於高分子壓電薄膜（ PVDF ）上，並以矽橡 膠製作微結構黏接在微電極上，之後再以 PDMS灌注封裝以完成感測器之製作 。本實驗以 激振器（ Shaker ）與力規（Force Sensor ）作為動態週期性的微小力之觸發源與力量校正， 此外架設一滑動測試平台以驗正滑動感知的能力，經實驗結果可測出水平正向抓取力與垂 直懸吊之荷重呈現一線性關係，進而也能推算出物件與觸覺感測器接觸表面之摩擦係數。 而本研究之觸覺感測器不僅可量測動態正向力，也能偵測到物件滑動的發生，且由微陣列 電極結構也利於判別物件接觸感測器所在之點位，實驗跟模擬分析之結果也相當的符合。 未來可應用於機器人手部觸覺防滑及抓取物品之準確性。 關鍵詞：觸覺感測器、結構化電極、 PVDF 、軟性電子、滑動 。 Abstract A packaged flexible tactile sensor with 2*2 sensory taxels for sensing the incident slippage and its direction were designed by introducing the concept of structural electrodes on a piezoelectric film (PVDF). The structural electrodes consisted of an elastomeric column on the top of PVDF film with the distributed microelectrodes u