ナノ粒子粒径分布标准物质に关する调查研究 - 计量标准总合センター.pdfVIP

技 術 資 料 ナノ粒子粒径分布標準物質に関する調査研究 * 加藤 晴久 （平成19年10月30 日受理） A survey on nano sized distribution particle standards Haruhisa KATO 1. 序論 域を直接見ることを可能にしたSTM は，物質と探針との 間の距離がナノオーダーになることで，物質と探針との 20世紀における高速通信・高機能材料・高効率材料・ 間に微弱な電流（トンネル電流）が流れ，ナノオーダー 大量情報処理を可能としたマイクロテクノロジー産業か で物質表面構造を見ることが可能になるという高い空間 ら，20世紀末，21世紀ではより高精度，高機能，そして 分解能を持つナノサイズ物質評価を可能にした．この走 高速を求めた原子・分子レベルで作製されたナノオーダ 査トンネル顕微鏡開発を皮切りにナノレベルでの物質・ ー材料による，より快適且つ高エネルギー効率化のため 材料研究7) が活発化し，近年のナノテクノロジー発展に のナノテクノロジー産業の発達が目覚しい．現在さまざ 貢献したといえる．さらに近年ではSTMや走査型電子顕 まな薬剤・部品・装置材料を作り出しているナノテクノ 微鏡（SEM）のように真空下で測定する必要性の無い原 ロジー産業は，マイクロメートルの1000分の1のサイズ 子間力顕微鏡（AFM）が発明され，その小型化・低価格 領域において自由に材料サイズをコントロールする新し 化が進み，新たにナノ・バイオテクノロジー産業界にと い技術を開発することにより，更なる飛躍的な技術革新 8) ．こ ってなくてはならない計測法として発達している を展開している．ブラウン管テレビから液晶テレビ開発 のように計測技術の技術革新は現在も進行中であり，ナ の流れに続く，粒子サイズが異なることによって発光色 ノテクノロジー産業の発展にとって非常に重要なファク が異なることを利用した環境に安全な単一物質による3 ターといえる． 原色を発光させたナノ粒子配列型薄型平面ディスプレイ 液中分散ナノ粒子の計測分野においてもSTMやSEM な 1） どの顕微鏡法は重要な計測手段である．しかしながら， の開発への流れがまさにその代表例といえる ． ナノテクノロジー産業界では1 ~ 100 nmのサイズ領域 顕微鏡法による粒径計測法は液中における直接観察では の粒子を特にナノ粒子として表現する．粒径100 nmをひ なく，また様々なサイズ分布を持つ物質のほんの一面を とつの区分としている理由は，当サイズ領域を境として 見ているため，液中分散した粒子における，ありのまま 新たな特性が発現されるからであり2) ，たとえば顔料特 かつ多量粒子の平均的な情報を確認する必要がある場合 性である着色力，隠ぺい力は粒径に依存し100 nm以下で に使用することはできない．また透過型電子顕微鏡（TEM） 大きく変化する3),4) ，磁性粉体が100 nm付近の粒径を境に に代表される電子線・電子レンズを用いる方法では，有 5)