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光电功能薄膜技术（研讨）膜厚分布与监控技术.pdfVIP

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  • 2017-07-09 发布于浙江
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光电功能薄膜技术（研讨）膜厚分布与监控技术.pdf

    膜层厚度的均匀性和实时测量 1、实际源的蒸汽发射特性 2 、膜厚的理论分布和计算 3、膜层厚度的测量 膜层厚度的均匀性: 膜厚随基板表面位置变化而变化的情况 MgF 减反膜，膜厚λ /4 (λ =520 nm) 2 4 nm, 不同颜色 膜厚均匀现 的重要性 渐变滤色片 源的种类 源的形状 膜厚分布 源/基板之间的相对位置 基板的旋转 MBE

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