光电功能薄膜技术（研讨）膜生长微观机理.pdfVIP

薄膜的结构特性 • 薄膜的形成 • 薄膜的微观结构 • 薄膜的成分 • 薄膜微观结构对性能的影响 • 薄膜微观结构的改善 薄膜的形成 薄膜形成分为：凝结过程、核形成与生长过程、岛形成与结合生长 过程。凝结过程是从蒸发源中被蒸发的气相原子、离子或分子入射 到基体表面后，从气相到吸附相，再到凝结相的一个相变过程。 一、吸附过程 吸附：固体表面原子(分子)排列中断, 非平衡态, 具有吸引外来原子(分子) 的能力. 吸附降低表面自由能减少. 物理吸附：由原子电偶极矩之间的范德华力引起的吸附。 化学吸附：由化学键结合力引起的吸附。 表面自由能：由于固体表面化学键的中断，使它具有一种过量的能量 称为表面自由能。 吸附能：吸附现象使其表面的自由能减小，伴随吸附现象的发生而释 放一定的能量，称为吸附能。 解吸：将吸附在表面的气相原子除掉。 解吸能：除掉被吸附气相原子的能量。  入射原子到达基片表面后，发生 与基片原子进行能量交换被吸附； 能量较大的吸附原子解吸附（二次蒸发）； 不与基片原子进行能量交换，被基片表面反射。  真空蒸发过程中，吸附过程的能量关系