敏感元件烧结测控仪的研制＊.pdfVIP

总第 卷 第 期 电测与仪表 44 503 Vol.44No.503 年 第 期 2007 11 ElectricalMeasurementInstrumentation Nov.2007 敏感元件烧结测控仪的研制* 丁喜波,刘新华,段兆丽,王新亮 (哈尔滨理工大学 测控技术与通信工程学院,哈尔滨 ) 150080 摘要:介绍了采用恒流加热法设计的敏感元件烧结测控仪。本仪器的烧结电路为程控恒 流源电路,该电路由单片机定时器输出的脉宽调制信号来控制。在整个烧结过程中烧结 温度可以逐渐增加,烧结时间可以程序控制,保证了敏感元件的产品质量。 关键词:敏感元件;程控恒流源;电路设计 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( ) TP216 B 1001-1390200711-0026-03 Designofthesensecomponentsinteringmeasurement-controlinstrument DINGXi-bo,LIUXin-hua,DUANZhao-li,WANGXin-liang (CollegeofMeasure-controlTechnologyCommunicationEngineering,HarbinUniv.Sci.Tech., Harbin150040,China) : AbstractThesinteringmeasurement-controlinstrumentforsensecomponentwhichisde- signedbyconstantcurrentheatingisintroducedinthispaper.Theprogramcontrollablecon- stant-currentsourcecircuitisusedasthesinteringcircuitoftheequipment.Theprogram controllableconstant-currentsourcecircuitiscontrolledbypulse-widthsingalwhichisout- putbymicrocontrollertimer.Thesinteringtemperaturecanbegraduallyincreasedinthe wholesinteringprogress,andthesinteringtimeissettedthroughtheprogram,consequently theproductqualityofthesensecomponentisassuranced. : Keywordssensecomponent;programcontrollableconstantcurrentsource;thedesignof circuit 0 引 言 1 系统的结构和工作原理 烧结是敏感元件生产过程中的一道最基本、最关 敏感元件烧结测控仪系统电路的组成框图如图1 键的工序。烧结前的工序中敏感元件的某些缺陷在一 所示。 定范围内可以通过调整烧结工艺加以纠正,而由烧结 造成的废品一般无法通过以后的工序来挽救,因此烧 结工艺和装备选择是