华梵大学机电工程学系专题研究成果报告-华梵大学机电工程学系暨.PDF

華梵大學機電工程學系專題研究成果報告 細胞分離晶片研製 指導教授 :黃忠仁教授 參與學生: B9902033 張永翰 一、中文摘要 PDMS 之混合溶液倒在母膜上，進加熱固化， 本文主要是以”微影製程”實驗以制 翻模後就可得到流道圖案之 PDMS ，再用氧 出微流體生醫晶片模型，再以PDMS混合溶 電漿將晶片改質與接合，即完成 PDMS 之碟 液倒在母模上再進行固熱化、改質與接合， 片式生物晶片。 即可完成 PDMS之生醫晶片。 二、前言 母模製作流程: 隨者實代變遷，微機電產業的技術突破， 由於 S1818 光阻在過程中用盡，而後所 元件的尺寸縮小，使的微機電產業具備了體 採用的SPR200 光阻，對於其係數並不很了 積小，輕量化以及可大量生產的特點。 生醫 解，所以 為了能夠在製作晶片時更容易用光 晶片利整合了微機電的相關技術，因此它在 照制作出我們要的微流道系統，我們將先設 微小的面積上也可以進行精密的分析，時間 計出普通的連續式微流道來製作第一片母 上也很迅速。 模，確認過光阻的係數以及製作出流道的情 況後，再以老師所給的微流道設計圖進行製 三、研究目的 造。 生醫晶片給醫學界帶來了重大突破，所 以瞭解其功能以及製作方法是最快的不二 微影製程 步驟: 法則，且微流體生醫晶片進行生物醫學檢測 1.前處理 : 或分析具有降低人工操作的實驗誤差、提高 微影製程中的前處理又稱為晶圓清洗，因為 系統穩定性、降低耗能及樣品用量、節省人 在製作過程中晶圓若遭到灰塵或有機物等 力和時間等優點。 的玷汙，對之後的結果會造成很大的影響， 通常會使用高揮發性的化學藥劑來清洗晶 四、研究方法 圓。 為了能夠方便觀察，一般會選用透明材 料來製作。本實驗選用PDMS 材料當作晶片 基材，先以Auto CAD繪製出微流道圖案並 做出塑膠光罩，接者再以微影技術和其機械 器材進行一步步的製作工程。在黃光實驗室 裡我們使用 spr200 正光阻為光阻劑，微影 的步驟包括清洗、去水烘烤、光阻塗佈、軟 烤、曝光、顯影、硬烤等。 結束後製作晶片的母膜就完成了，接著將 圖 1. 清洗晶圓步驟 1 過度，反之，若顯影後線寬過大，則是曝光 2.光阻旋轉塗佈 : 不足。 光阻覆蓋是在晶片表面覆蓋一層厚度均勻、 附著性強之光阻；目前幾乎所有光阻塗佈皆 5.顯影 以旋轉塗蓋來進行。 為避免曝光後光阻因其他的副反應而改變 光阻旋轉塗佈時，旋轉載台的軸心提供適 化學結構，經曝光後的光阻，應盡速進行顯 當真空度吸著上方晶片，當旋轉載台帶動晶 影。以正光阻來說，顯影的目的是將晶片表 片旋轉後，灑在晶片上之光阻將因離心力而 面經曝光的光阻層，溶解再鹼性溶液中。控 往晶片外圍移動，最後形成一厚度均勻之光 制顯影的主要條件顯影時間、顯影劑濃度、: 阻層。 溫度；顯影時間必定掌握精確，顯影時間過