化学气相沉积法制备硅质量分数6.5%硅钢的脆性-材料与测试网.PDF

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化学气相沉积法制备硅质量分数6.5%硅钢的脆性-材料与测试网

年 月 第 卷 第 期 2015 12 39 12  Vol.39No.12Dec.2015 : / DOI 10.11973 xccl201512004 jg 化学气相沉积法制备硅质量分数6.5%硅钢的脆性 , , , , 高 超 苏芳臣 相颖杰 孙 权 陈建钧 ( , ) 华东理工大学机械与动力工程学院 上海 200237 : ( ) , 、 摘 要 采用化学气相沉积 CVD 法制备了硅质量分数为 6.5%的硅钢 利用扫描电镜 能谱仪   、 . 和自主设计研发的三点压弯机研究了反应温度 气氛含氧量和 SiCl含量对硅钢脆性的影响 结 4 : , ; 果表明 硅钢的晶粒尺寸随反应温度的升高而长大 硅钢的脆性随着晶粒尺寸的增加而增大 气氛 -1 , ; 含氧量在 100m k 时所制备的硅钢产生了晶界氧化现象 使硅钢脆性增加 SiCl含量较大时 g g 4 ( ) , . 体积分数 35% 所制备的硅钢产生了Kirkendall空洞 导致其脆性加剧 : ; ; ; 关键词 CVD法 硅钢 脆性 晶界氧化 中图分类号: 文献标志码: 文章编号: ( ) TB31    A    1000G3738201512G0012G05 Brittlenessof6.5wt%SiSiliconSteelPrearedb p y ChemicalVaorDeositionMethod p p , , , , GAOChao SUFanGchen XIANGYinGieSUN uan CHENJianGun g gj Q j ( , , , ) SchoolofMechanicalandPowerEnineerin EastChinaUniversitofScienceandTechnolo Shanhai200237 China g g y gy g

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