化学气相沉积法制备硅质量分数6．5％硅钢的脆性-材料与测试网.PDF

年 月 第 卷 第 期 ２０１５ １２ ３９ １２ 　Vol．３９No．１２Dec．２０１５ : / DOI １０．１１９７３ xccl２０１５１２００４ jg 化学气相沉积法制备硅质量分数６．５％硅钢的脆性 , , , , 高 超 苏芳臣 相颖杰 孙 权 陈建钧 ( , ) 华东理工大学机械与动力工程学院 上海 ２００２３７ : ( ) , 、 摘 要 采用化学气相沉积 CVD 法制备了硅质量分数为 ６．５％的硅钢 利用扫描电镜 能谱仪 　 、 . 和自主设计研发的三点压弯机研究了反应温度 气氛含氧量和 SiCl含量对硅钢脆性的影响 结 ４ : , ; 果表明 硅钢的晶粒尺寸随反应温度的升高而长大 硅钢的脆性随着晶粒尺寸的增加而增大 气氛 －１ , ; 含氧量在 １００m k 时所制备的硅钢产生了晶界氧化现象 使硅钢脆性增加 SiCl含量较大时 g g ４ ( ) , . 体积分数 ３５％ 所制备的硅钢产生了Kirkendall空洞 导致其脆性加剧 : ; ; ; 关键词 CVD法 硅钢 脆性 晶界氧化 中图分类号: 文献标志码: 文章编号: ( ) TB３１　　　 A　　　 １０００Ｇ３７３８２０１５１２Ｇ００１２Ｇ０５ Brittlenessof６．５wt％SiSiliconSteelPrearedb p y ChemicalVaorDeositionMethod p p , , , , GAOChao SUFanＧchen XIANGYinＧieSUN uan CHENJianＧun g gj Q j ( , , , ) SchoolofMechanicalandPowerEnineerin EastChinaUniversitofScienceandTechnolo Shanhai２００２３７ China g g y gy g