基于ZEMAX的二维变焦扩束光学系统设计 - 激光与红外.PDF

第４６卷　 第６期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４６，Ｎｏ．６ 　 ２０１６年６月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｊｕｎｅ，２０１６ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１６）０６０７４７０５ ·光学技术 · 基于ＺＥＭＡＸ的二维变焦扩束光学系统设计 于陶然，王　超，唐晓军，刘　洋 （固体激光技术重点实验室，北京 １０００１５） 摘　要：针对板条激光器出射光束的尺寸控制问题，设计了一个在Ｘ方向扩束倍率为１４～ ２０×，Ｙ方向扩束倍率为１２５～１５５×的二维连续变焦扩束光学系统。通过对三组元变焦系 统的分析，在理论上推导出固定组、变倍组以及补偿组之间的运动轨迹。利用ＺＥＭＡＸ对理论 值进行优化，使系统像差满足使用要求。该系统工作波长为１０６４ｎｍ，可将尺寸在一定范围内 的出射光束扩束整形至３５～４０ｍｍ。该系统具有结构简单、变焦行程短以及变焦曲线平滑等 优点。 关键词：光学设计；扩束系统；连续变焦；ＺＥＭＡＸ 中图分类号：ＴＮ４２４　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１６．０６．０２０ Ｄｅｓｉｇｎｏｆｔｗｏｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｚｏｏｍｂｅａｍｅｘｐｅｎｄｅｒ ｏｐｔｉｃａｌｓｙｓｔｅｍｂａｓｅｄｏｎＺＥＭＡＸ ＹＵＴａｏｒａｎ，ＷＡＮＧＣｈａｏ，ＴＡＮＧＸｉａｏｊｕｎ，ＬＩＵＹａｎｇ （ＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｎＳｏｌｉｄｓｔａｔｅＬａｓｅｒＬａｂｏｒａｔｏｒｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００１５，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｆｏｒｔｈｅｓｉｚｅｃｏｎｔｒｏｌｐｒｏｂｌｅｍｏｆｓｌａｂｌａｓｅｒ’ｓｏｕｔｐｕｔｂｅａｍ，ａｔｗｏｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓｚｏｏｍｂｅａｍｅｘｐｅｎｄｅｒ ｏｐｔｉｃａｌｓｙｓｔｅｍｉｓｄｅｓｉｇｎｅｄｗｈｉｃｈｅｘｐａｎｄｅｒｒａｔｉｏｃａｎｒｅａｃｈ１４～２０×ｉｎｔｈｅｄｉｒｅｃｔｉｏｎｏｆＸａｎｄ１２５～１５５×ｉｎｔｈｅ ｄｉｒｅｃｔｉｏｎｏｆＹＴｈｅｍｏｖｅｍｅｎｔｒｕｌｅｏｆｔｈｅｆｉｘｅｄｐａｒｔ，ｚｏｏｍｉｎｇｐａｒｔａｎｄｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｎｇｐａｒｔａｒｅｄｅｒｉｖｅｄｔｈｒｏｕｇｈｔｈｅａｎａｌｙ ｓｉｓｏｆｔｈｅｔｈｒｅｅｃｏｍｐｏｎｅｎｔｚｏｏｍｌｅｎｓＴｈｅｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌｖａｌｕｅｉｓｏｐｔｉｍｉｚｅｄｂｙｔｈｅＺＥＭＡＸ，ｗｈｉｃｈｍａｋｅｓｔｈｅａｂｅｒｒａｔｉｏｎｏｆ ｔｈｅｓｙｓｔｅｍｍｅｅｔｔｈｅｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔＷｏｒｋｉｎｇｗａｖｅｌｅｎｇｔｈｏｆｔｈｅｓｙｓｔｅｍｉｓ１０６４ｎｍ，ａｎｄｔｈｅｓｉｚｅｏｆｏｕｔｐｕｔｂｅａｍｉｎａｃｅｒ ｔａｉｎｒａｎｇｅｃａｎｂｅｅｘｐａｎｄｅｄｔｏ３５～４０ｍｍＴｈｅｓｙｓｔｅｍｈａｓｓｏｍｅａｄｖａｎｔａｇｅｓｏｆａｓｉｍｐｌｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅ，ａｓｈｏｒｔｚｏｏｍｄｉｓ ｔａｎｃｅａｎｄａｓｍｏｏｔｈｚｏｏｍｐａｔｈ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｏｐｔｉｃａｌｄｅｓｉｇｎ；ｅｘｐａｎｄｅｒｓｙｓｔｅｍ；ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓｚｏｏｍ；ＺＥＭＡＸ １　引　言 光束的光束质量。为补偿波前畸变，采用基于自适应 随着激光技术的不断发展，高功率板条固体激光 光学的光束净化技术，利用变形镜补偿光束波前畸 器以其峰值功率高、运行稳定以及维护方便等优点在 变［２］，可显著提高激光光束质量。因为变形镜的空间 民用（如工业激光材料加工、切割、热处理、打标）、军 分辨率受到限制，为充分利用变形镜的校正能力，需 用（如测距、激光雷达、防空）和空间通信等方面展示