基於等效电路模型之椭圆形超音波马达的动态分析 - kuasedutw.PDF

工程科技與教育學刊 第八卷 第二期 民國一○○年六月 第 283 ～296 頁 基於等效電路模型之橢圓形超音波馬達的動態分析 何信宗、陳昱凱 國立高雄應用科技大學 機械工程學系 通訊作者電子郵件：E-mail: stho@cc.kuas.edu.tw 摘 要 本文作者已經在先前的研究中，以實驗量測的方式對橢圓形超音波馬達所具有的運動特性進行過調查 與研究，也得到了很好的輸出特性。為了進一步理解橢圓形超音波馬達內部各組成元件的特性以及互動關 係，本論文打算以理論分析的方式探討橢圓形超音波馬達的動態特性，以檢討出提高馬達運動效能的設計 方法。文中將先介紹馬達之組成結構與動作原理，接著建立馬達各組成部份之數學模型，以定子運動方程 式、接觸層方程式與滑台運動方程式所構成之聯立方程式模擬整組馬達的動態行為。模擬分析的結果最後 與實驗量測的結果做比較，以驗證理論模型之正確性，模擬與實驗結果相當吻合，足以說明本文中理論分 析的可靠性。 關鍵詞：超音波馬達、橢圓形定子、動態分析 1. 前 言 自 1948 年 William 和 Brown 提出壓電馬達的專利申請開始算起 [1] ，超音波馬達的研究歷史至今已有六 十餘年了。但如果從 1982 年 Sashida 首先將行進波型超音波馬達開發成商品化算起，至今則只有約三十年 的歷史[2] 。相較於電磁馬達約有兩百年的發展歷史，超音波馬達的研究歷史仍算是很短，尚存在有許多疑 問。超音波馬達的驅動原理與傳統電磁馬達不同，是利用壓電材料的逆壓電效應將電能轉換為機械振動能， 再利用馬達定子與轉子之間的摩擦運動，將機械振動能轉換為馬達轉子的轉動動能。其特點在於能夠產生 低轉速高扭力的輸出特性，而且因為結構簡單、容易小型化，常被應用在需要輕薄短小而且傳統電磁馬達 無法適用的領域，超音波馬達與電磁馬達之間在應用上可以說是呈現互補的狀態。 超音波馬達發展至今已經有許多的型式被開發出來，一般來說一個完整的超音波馬達是由定子與轉子 或滑台所組成，而其中定子的作用是要在其表面構成橢圓形軌跡運動，並用來推動滑台運動。許多不同外 形的壓電結構都可以構成橢圓形軌跡運動，若以定子的外觀形狀來對超音波馬達進行分類的話，現今已有 Nanomotion 公司 [3]的長方形超音波馬達，Ohnishi 的 π型超音波馬達 [4] 。還有Fukakubo 等人以兩個積層型 壓電致動器裝設於彈性平板中構成定子 [5,6] ，Zhai 等人以兩個積層型壓電致動器裝設於自由梁中構成定子 [7] ，Yun 和 Ishii 以蘭杰文振動子與彈性體構成定子 [8] 。本文作者則於幾年前以橢圓形圓環內嵌入兩個壓電 致動器與一個固定座製作了橢圓形超音波馬達，並以實驗量測方式探討此型馬達的特性 [9] 。 文獻 [9]中已有橢圓形超音波馬達基本特性的詳細說明，實驗數據顯示橢圓形定子結構在幾何形狀上是 一個很理想的形狀，可以產生兩個相同頻率且互相正交的振動模態，因此定子的橢圓形運動軌跡可以透過 電壓大小和相位差的調整而得到期望的橢圓形狀。然而，實驗量測的結果所呈現的是定子或是整個馬達的 運動特徵，對於改善定子或馬達的運動特性而言，我們仍需要對馬達內部的動態關係得到進一步的理解， 才有助於改善馬達特性的設計參考。 因此，本文將著眼在整個橢圓形超音波馬達系統的動態特性分析，以數學分析的方式對馬達各組成部 份建立數學模型，以定子運動方程式、接觸層方程式與滑台運動方程式所構成之聯立方程式模擬整組馬達 ©2007 National Kaohsiung University of Applied Sciences, ISSN 1813-3851 284 何信宗、陳昱凱 的動態行為。模擬分析結果將與實驗量測相結果做比較，以逐一驗證馬達動態系統的數學模型，並求出橢 圓形超音波馬達的動態特性，以進一步深入理解該馬達的特性。 2. 馬達結構與動作原理