熔石英亚表面杂质对激光损伤概率的影响-红外与激光工程.PDF

第46卷第4期 红外与激光工程 2017年4 月 Vol.46No.4 Infraredand LaserEngineering Apr.2017 熔石英亚表面杂质对激光损伤概率的影响 1 1 2 2 1 1 高 翔 ,邱 荣 ,周国瑞 ，姚 科 ,蒋 勇 ,周 强 (1. 西南科技大学 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 极端条件物质特性联合实验室，四川 绵阳621010；2. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川 绵阳 621900) 摘 要院基于Mie理论和热传导方程，结合ICP-OES对熔石英亚表面杂质粒子的主要成分测量，建立了计 算吸收性杂质粒子诱导熔石英光学元件表面损伤概率的模型。通过该模型理论研究了不同种类的杂质粒 子诱导损伤所需的临界能量密度随粒子尺寸的变化，以及不同尺寸分布的杂质粒子诱导熔石英表面的损 伤概率。通过损伤实验测试获得了不同光斑尺寸的355nm激光辐照作用下熔石英表面的损伤概率，与理 论计算结果进行对比，在相同粒子分布参数下，分析了三种杂质粒子对损伤概率的贡献(CuAlCeO)。通 2 过该模型能够分析光学基底或薄膜亚表面中不同潜在的杂质吸收性粒子对光学元件损伤概率的影响。 关键词院熔石英； 杂质粒子； 临界能量密度； 激光损伤概率 中图分类号院O437 文献标志码院A DOI院10.3788/IRLA201746.0406002 Effect of subsurface impurities of fused silica on laser induced damage probability 1 1 2 2 1 1 Gao Xiang, Qiu Rong, Zhou Guorui, Yao Ke, Jiang Yong, Zhou Qiang (1. Joint Laboratory for Extreme Conditions Matter Properties, Southwest University of Science and Technology-Researc Center of Laser Fusion, CAEP, Mianyang 621010, China; 2. Researc Center of Laser Fusion, China Academy of Engineering Physics, Mianyang 621900, China) Abstract: Based on Mie theory and heat equation, combined wit the measurement of the main components for impurities on the subsurface of fused silica by ICP-OES, a model for calculating laser- induced damage probability on the surface of optical components by a