u形互连-弹性基底组合结构延展性分析参考.pdfVIP

试验研究 现代制造工程(Modern ManufacturingEngineering) 2017年第4期 U形互连-弹性基底组合结构延展性分析 黄涛，董文涛，肖琳，唐伟，黄永安 (华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室柔性电子研究中心，武汉430074) 摘要：可延展柔性电子器件可共形贴合在复杂曲面的弹性物体表面，在生物集成电子、共形天线等领域具有广泛应用。 岛一桥结构设计提高了柔性电子器件的可拉伸能力，桥结构通常设计成U形互连结构，通过有限元计算发现，在拉伸过 程中该结构呈现非常复杂的变形行为：桥结构经历纯弯、整体受拉，最后进入塑性变形阶段。桥结构的线宽和结构长跨 比对结构延展性影响显著，计算结果表明：宽度减小可以提高结构拉伸能力，但是宽度过小，结构拉伸能力急剧降低；当 结构宽度较大时，结构断裂前局部出现平面外屈曲；而跨度增加普遍明显地提高了结构的拉伸能力，但会使结构尺寸变 大；长跨比小于1．4时，u形互连结构的延展性随长跨比的增加而增大。通过u形互连结构的变形机理研究可以优化互 连结构的结构参数，提高柔性电子器件的延展性。 关键词：屈曲；柔性电子；薄膜一基板结构；U形互连结构 中图分类号：THl65文献标志码：A文章编号：167l—3133(2017)04—0017—06 DOI：10．16731／j．cnki。1671—3133．2017．04．004 of interconnectonelasticsubstrate StretchabilityU-patterned HuangTao，DongWentao，XiaoLin，TangWei，HuangYongan Lab．of of (StateKey DigitalManufacturingEquipment＆Technology，HuazhongUniversity ScienceTechnology，Wuhan430074，China) Abstract：Stretchableelectronicdevicesare usedin inbiomedicaldevicesandconformalantennasthat widely applications require intimate with surfacesofelastomers．The the in flexi— integration complicated island—bridgelayoutimprovesstretchabilitypractical bleelectronic which interconnectshavebeen toenable devices，amongU—patterned designed devices’repeatablestretchabilityup to40％．Whilethe structureis deformationisobserveduseofFEM．Thesestructures island-bridge—substratestretched，complex by sufferunilateraltensionand and deformation．Theand tension wi