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V01．25
第25卷增刊 北京理工大学学报 Suppl．
Institute
2005年9月Transactions Sep．2005
ofBeijingofTechnology
文章编号：1001—0645(2005)增刊-247-04
等离子体显示器中MgO介质保护膜结构
和放电性能研究
夏星， 范玉锋， 郭滨刚， 刘纯亮
(西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室，陕两，西安 710049)
摘要：为了研究等离子体显示器(PDP)dPMgO介质保护膜的结构及其放电特性，通过电予束蒸发沉积，在不
同的基板温度和沉积速率下获得MgO介质保护膜，并利用x射线衍射分析及放电试验对其进行了研究．试验结
V；而在其它的基板温度和
衍射峰的晶面间距变化很小，衍射峰强度较高，同时町获得最低的着火电骶一132．2
1)的晶面间距有1％以一k的收缩，相应的衍射峰强度也低，而着火电
沉积速率下的MgO薄膜发生晶格畸变，(11
压均高于140
v．另外，较高的基板温度和沉积速率易导致MgO薄膜的晶格I畸变．
关键词：等离子体显示器；电子束蒸发；晶格畸变；着火电压
中图分类号：O484 文献标识码：A
of Films
onStructureand Characteristics
Study Discharge MgO
in Panel
Plasma
Display
XIA Chun-liang
Bin-gang，LIU
Xing，FANYU—feng，GUO
for ElectronicsandDevices University,Xi’an，
Jiaotong
Laboratory MinistryofEducation，Xi’an
(Key Physical
}
71
Shaanxi
0049，China)
dielectric in
Abstract：The by
films，used displaypanel(PDP)andgrown
MgO protective plasma
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