等离子质谱仪洁净实验室的建设论文.pdfVIP

综述与评论 等离子质谱仪洁净实验室的建设 李军东 大庆油田有限责任公司测试技术服务分公司 黑龙江省大庆市 163453 摘要：为满足等离子质谱仪(ICP—MS)开发、应用条件，需要建立洁净技术实验室。本文从洁净技术概念谈起，结合等离子 质谱仪(ICP—MS)安装使用的前提条件引入洁净实验室的建设指标、主要技术参数(洁净度、正压)以及解决方法等。说明了 洁净室建设的过程及需要注意的问题，达到与同行互相交流学习的愿望。 关键词：洁净技术；洁净度；洁净室 1引言 我国洁净技术起源于19世纪60年代，在70年代末至80年代末，中国的洁净技术经历了一段阳光灿 烂的发展阶段，诞生了许多标志性的重要成果。九十年代改革开放后，国内洁净技术研究人员有了更多接 触国外高级别洁净室、了解世界的先进设备、装置、管理与维护的机会。21世纪初随着全球经济一体化的 浪潮冲击，外国公司在华投资力度不断增长，为高新技术产业提供受控环境的洁净技术获得广泛应用。净 化工程技术深入应用到了电子、核子、航空航天、生物工程、制药、精密机械、化工、食品、汽车制造等 高科技工业领域及现代科学领域中，生物安全技术更是得到政府的高度重视。近几年，我国净化工程技术 在技术上和经济上都得到了快速的发展，据报道我国洁净技术产品市场，以每年40％～50％的速度在增长。 这一切都表明中国洁净室技术发展的高潮已经到来。 2洁净技术概念 洁净技术(cleanroom)是适应实验研究与产品加工的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性 等方面要求而诞生的一门新兴的综合技术。洁净技术通常包括：空气净化技术、空调技术、水纯化技术、 气体纯化技术、微量杂质控制技术、洁净环境的监测技术及相关的环境质量的控制技术。其中，空气净化 技术的衡量指标是洁净度，即指洁净环境中空气含尘粒多少的程度。现在各国洁净度的标准还各有不同， 指每立方英尺中大于等于0．5岫的尘粒数不超过1000个，大于等于5岫的尘粒数不超过7个。 表l 一美国联邦标准(USAFederalStandard)209E(1992年) 洁净度级别 粒 径(U1]1) 0．1 O．2 O．3 O．5 5 1 35 7．5 3 1 NA 10 350 75 30 lO NA 100 NA 750 300 i00 NA 1000 NA NA NA 1000 7 10000 NA NA NA i0000 70．3 100000 NA NA NA 100000 700 单位：尘埃数量个／ft3 空气净化技术主要用来建造洁净工作区，洁净工作室从用途上可分为生物洁净室(用于制药、生化实 验等)和非生物洁净室两种(高精密厂房、特种工作室)；从原理(室内风循环方式)上分为单向流洁净 室、准单向流洁净室和乱流洁净室。单向流洁净室的原理是替换作用，顶棚(或侧墙)满布高效过滤器送 第九届伞国石油和化学I：业电气技术年会论文集 风口，全地板(或侧墙)格栅回风，干净气流不是一股或儿股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是 靠掺混作用，而是靠推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，从而达到净化室内窄气的目的。特点是 洁净度级别高，结构较复杂，造价和维护费用高，高效过滤器堵漏较困难。非单向流洁净室工作原理是稀 释作用，当一股干净气流从送风口送入室内时，迅速向四周扩散、混合成急变流，紊流，稳定流，气流的 流通断面变化的同时把差不多同样数量的气流从回风LJ排走，这股干净气流稀释着室内污染的空气，把原 来