热光voa金薄膜互连线间距优化建模与仿真.咨询.pdfVIP

第32卷第1期 湖 北 工 业 大 学 学报 2017年02月 V01．32NO．1 ofHubei of Feb．2017 Journal UniversityTechnology [文章编号]1003--4684(2017)01—0097—04 热光VOA金薄膜互连线间距优化建模与仿真 丁善婷，徐 蕾，黄 飞 (湖北工业大学机械工程学院，湖北武汉430068) [摘 要]随着电子器件功能的不断增强，薄膜互连线个数和排布密度也在逐渐增加，使得器件的整体尺寸增大，不 利于器件的小型化和集成化。而优化薄膜互连线间距排布是实现器件小型、微型化的有效方法之一。基于热光 VOA金薄膜互连线加热模型，运用有限元仿真软件得到金薄膜互连线加热下聚合物光波导温度分布，并分析多根 金薄膜互连线加热下不同间距时的交互作用。仿真结果表明：随着互连线间距缩小，多根互连线加热所产生的交 互作用增强，100 Fm互连线间距有优化空间。根据所建模型试制样品，对样品进行可靠性实验。实验表明，优化 薄膜互连线间距排布方法是行之有效的。 [关键词]热光VOA；金薄膜互连线；交互作用；有限元仿真 [中图分类号]TN928 [文献标识码]A 热光效应器件具有尺寸小、驱动功率低、成本低 射率，从而使光信号衰减。图1a为热光VOA结构 和易于加工制作等优点，自面世以来受到了广泛的 图，输入和输出单模波导与光纤相连且具有相同的 关注[1。2]。然而随着器件的不断发展，容纳的光纤通 匹配系数，加热电极与多模波导所在平面成一定角 道不断增加，导致了器件整体尺寸的日益扩大。例 度口，以使光信号的衰减比例符合设计要求。电极 如，某公司生产的一款热光型可调光衰减器，早期产 加热器 品为16通道，当改进产品增加到20通道时，器件的 整体尺寸增加了1．5倍。长此以往，必然不利于器 信号进◆ 冷信号出 件小型化、微型化发展。 曲 根据热光效应器件的工作原理，每一通道都需 要一个薄膜互连线充当加热器的角色，以建立温度 梯度，实现光衰。关于薄膜互连线特征尺寸减小与 可靠性的问题已有大量研究，但对于薄膜互连线间 距优化的研究较少。因此，为了探究互连线间距对 光波导交互作用的影响，本文分析了在金薄膜互连 线加热下聚合物光波导的温度梯度分布，在此基础 上，对多根互连线加热所产生的交互作用进行了研 (b)光信号襞减 究，从而明确了互连线间距对器件工作的影响规律。 图1热光VOA工作原理 1热光VOA工作原理 通电后，波导折射率因温度升高而减小，且折射率梯 度方向与光束成口角，这时在多模区域的光束就会 热光VOA是一种可调光衰减器，其工作原理 以2口角度进行反射。当反射角度大于光信号在单 基于热光效应实现光信号的衰减。一般来说，热光 模区的传输角度时，反射光束就会进入高阶模式进 VOA的制备需要运用微加工工艺在光波导上形成 而被衰减掉。图2b为某公司热光VoA光信号衰 薄膜互连线作为加热电极。电极通电后热量将传递 减图，△T为波导芯层相