版图设计-硬件和射频工程师.PDF

版图设计 李福乐 清华大学微电子所 2007年7月 1 版图设计 • 集成电路的制造与设计流程 • CMOS集成电路中的元件 • 版图设计规则(Topological Design Rule) • 版图设计准则(‘Rule’ for performance) • 标准单元库版图分析（以COMPASS 自带 的 1.2um CMOS标准单元库为例） • 课堂测试与作业 2 第一部分 3 集成电路中的制作与设计 • 制作过程 • 基本设计流程 • 基本版图流程 4 什么叫集成电路 集成电路(Integrated Circuit,简称IC)就是将有源元 件(二极管、晶体管等)和无源元件( 电阻、电容 等) 以及它们的连线一起制作在半导体衬底上形 成一个独立的整体. 集成电路的各个引出端就 是该电路的输入, 输出, 电源和地. pad 核心电路+IO pad CORE 核心电路+IO CORE 5 集成电路制作过程 集成电路设计 集成电路设计 版图 版图 layout layout 6 集成电路制作过程 集成电路设计 集成电路设计 版图 版图 layout layout 制版 制版 掩膜版 掩膜版 MASK MASK 流水加工 流水加工 7 集成电路制作过程 集成电路设计 集成电路设计 版图 版图 layout layout 制版 制版 掩膜版 掩膜版 MASK MASK 流水加工 流水加工 硅圆片 硅圆片 Wafer Wafer 8