电浆科学与平面显示器.PDF

電漿科學與平面顯示器 文/藍永強、鍾岳宏、徐兆鋐、張德安、柳克強 電漿科學在平面顯示器相關產業應用極廣。本文將介紹二種重要平面顯示器技術:電漿顯示器與場發射顯示器。電漿顯 示器是利用電漿放電產生之紫外線，激發螢光粉，形成動態畫面，為目前大尺寸數位平面顯示器主流技術之一。場發射顯示 器顯示原理與陰極射線管顯示器非常類似，但它使用閘極控制場發射電子源，因此具有優異的顯示特性，是非常有潛力的次 世代平面顯示器，本文將介紹這二種顯示器的基本原理、發展現況以及未來展望。除了上述兩種顯示器外，近年來電致發光 顯示器的研究也顯示，在電致發光元件金屬電極與介電材料介面所形成的表面電漿子激發現象會改變元件的發光效率，本文 也將介紹此電漿現象對電致發光顯示器的影響與應用。 A. 電漿顯示器 交流電漿顯示器基本原理 前言 電漿顯示器為自發光顯示器(emissive display)之 一，其所顯示之畫面由多個”光點”所組成，而每一 在早期氣體放電的歷史與電學密不可分，早在西 光點所發出之可見光為電漿放電所產生之紫外線激發 元 1675 年天文學家 Jean Picard 攪動汞氣壓計內的汞液 螢光粉而發出，其基本原理與傳統日光燈(fluorescence 體進而產生靜電，使得管內的汞蒸氣發生氣體放電(微 lamp) 相 同 。 現 今 電 漿 顯 示 器 皆 操 作 於 交 流 模 式 弱的光閃爍)。西元 1927 年，Bell System 首次將氣體 2 (Alternate current plasma display panels, ACPDP)，並由三 放電應用在平面顯示器上，在 60×75 cm 的顯示區域內 個電極控制放電之產生與強度，電極上接覆蓋一層介 製作出 50×50 陣列共 2500 個氣體放電區間，每個放電 電材料，因此放電模式數為介電層障放電(dielectric 區間都有各自的交流電壓驅動電路，並填充氖氣，表 barrier discharge, DBD)，放電區中所填充之氣體以氖- 現出每秒 16 張畫面的全灰階影像；這實驗成功地為平 氙氣(Ne-Xe) 之潘寧式混合氣體 (Penning mixture) 為 面顯示器立下了重要的里程碑。西元 1970 年代， 主，比例約在 4%:96% 至 15%:85% 之間，氣壓則在 Burroughs Corpoartion 公司的 Holz 與 Ogle 發展出 TM 400-500 Torr 左右。其中 Xe 所放出之 147 nm 與 Xe Self-Scan 顯示器、Fujitsu 公司的 Takashima 等開發出 分子之 150 與 173 nm 真空紫外光為激發螢光粉之紫 表面放電結構；T. Urade 等在介電層上加保護層； 外線主要來源，而 Ne 之主要貢獻為降低放電所需電 Owens-Illinois 公司的 D.C. Hinson 等發展以氙氣與螢光