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精密XY移动单元AXDXEX-thk
精密XY移动单元
适应多种用途
高精度
品种丰富 AX/DX/EX
CATALOG No.124-7C
Contents
▼精密XY移动单元AX
构造与特长 2
高精度移动单元的精度评价方法和系统3
单轴移动单元/XY移动单元质量及精度表 5
单轴移动单元标准式样 7
XY移动单元标准式样 9
单轴移动单元带软式伸缩防尘罩 11
XY移动单元带软式伸缩防尘罩 13
电机规格 15
▼ XY移动单元DX
构造与特长 19
▼ XY移动单元EX
构造与特长 21
1
精密XY移动单元AX
LMSR
DIF (BIF)
AX型 构造图
构造与特长
●高精度 ●组合式
精密XY移动单元AX型使用经精密研磨、断面高度低的LM滚 通过单轴移动单元的组合 (而非使用传统专用座架的XY移动
动导轨SR型,具有多重约束结构,可实现高精度导向。 单元的组合) ,可自由选择行程。
●长期保持高精度 ●可根据用途选择移动单元精度
导向部采用可靠性优异的LM滚动导轨,可在使用寿命内长 AX型平台可根据各种用途选择三种平台精度。
期保持高精度。进给丝杠采用精密滚珠丝杠,是一种可无间
隙地进行正确定位进给的移动单元。
●丰富的品种
备有50mm ~500mm行程的标准品。另外还备有软式伸缩防
尘罩型。
※也可提供特殊式样,如有需要请咨询THK 。
2
高精度移动单元的精度评价方法和系统
1.反复定位精度 3. 无效行程
t1
t2
t3
()
= t1 t2t7 1/2
对任意一点从相同方向反复定位7次,测定停止位置,求出读 让平台进给移动,以其稍有移动时的检验千分表的读数为基
数最大差的1/2。以该测定为原则,在移动距离的中点及靠近 准,从该状态开始不是通过进给装置,而是在平台上施加同
两端的各位置分别进行测定,在求出的值中以最大值为测定 方向的负荷,将此后开放时的基准与返回量的差作为测定
值,在最大差的1/2前加上±号,以该值作为反复定位精度。 值。
此测定在移动距离的中点及靠近两端的各位置分别进行,在
求出的值中以最大值为测定值。
2. 定位精度 4. 行走直线度A
()
A
()
A
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