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真空度对泡生法蓝宝石晶体生长环境的影晌
Vol. 30 No.4
第 30卷第4期
深圳大学学报理工版
2013 年7 月 JOURNAL OF SHENZHEN UNIVERSITY SCIENCE AND ENGINEERING July 2013
【材料科学/ Material Science
真空度对泡生法蓝宝石晶体生长环境的影晌
刘丽君1，张东平1，于永芹1，徐家庆2，刘世全2
1) 深圳大学物理科学与技术学院， 深圳1518060; 2) 深圳晶蓝地光电科技有限公司 ， 深圳518106
摘要:指出对泡生法蓝宝石晶体生长，无需采用过高的真空度.炉内真空度达 1 0 -1 Pa 级时， 进一
步提高真空度对长晶炉热效率影响不大，较低的真空度有利晶体在出炉前低温段的冷却.研究表明，尽管
高真空度可以有效防止热场中鸽/钥材料的氧化，但真空度过高容易导致鸽细材料的升华损耗;真空度越
高，原料三氧化二铝熔体蒸发越甚，导致热场零部件污染越严重，从而缩短热场零部件的使用寿命;采用
惰性气体保护可以在较低真空度下防止热场中鸽细件氧化，同时抑制熔体蒸发、保持热场洁净并延长热场
使用寿命.
关键词:蓝宝石晶体;泡生法;真空度;鸽夺目材料氧化;晶体生长;熔体蒸发;LED 衬底材料
中图分类号: TB 79; TB 39 文献标志码: A doi: 10.3724/SP.J.1249.2013.04404
Effects of vacuum degree on environment of sapphire
crystal growth by the Kyropoulos method
Liu Lijun 1 , Zhang Dongping 1t , Yu Yongqin 1 ,
Xu Jiaqing2 , and Liu Shiquan2
1) College of Physical Science and Technology , Shenzhen University , Shenzhen 518060 , P. R. China
2) Shenzhen Kingland Optoelectronic Technology Company Ltd. , Shenzhen 518106 , P. R. China
Abstract: It is not necessary to grow sapphire crystals by the Kyropoulos method under ultra-high vacuum.
Increasing the vacuum degree to below 10 -1 Pa cannot improve obviously the heat efficiency of the Kyropoulos
furnace for sapphire growth. A lower vacuum degree is helpful for the cooling of sapphire after power off. A high
degree of vacuum efficiently prevents the tungsten heater and the thermal shield , made of tungsten and
mol
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