超纯水电解加工机理及工艺基础.PDFVIP

维普资讯 第 57卷 第 3期 化 工 学 报 Vo1．57 No．3 2006年 3月 Journal of Chemical Industry and Engineering (China) March 2006 超纯水 电解加工机理及工艺基础 鲍怀谦 ，徐家文 (南京航空航天大学机电学院，江苏 南京 210016) 关键词 ：超纯水 ；电锯加工；阳离子交换膜 中图分类号：TG662 文献标识码 ：A 文章编号：0438—1157(2006)03一O626一O4 Mechanism andtechnologicalfoundationofECM inultra—purewater BAO Huaiqian。XUJiawen (SchoolofMechanicalandElectricalEngineering，NanjingUniversityof AeronauticsandAstronautics，Nanjing210016，Jiangsu，China) Abstract：Inorderto develop greenmanufacturing andmicrofabrication，an innovativeelectrochemical machiningmethodwasintroduced，thatistheelectrochemicalmachining (ECM)technologyinultra—pure water．Therelativerelationshipofwaterdissociationandcurrentdensityunderthefunctionofstrongacid cationexchangemembranewasstudied，andthemechanism Ofelectrochemicalmachining inultra—pure waterwasalsoexplored．Onthebasisoftheoreticalanalysis，thesignificanceoftWOturningpointsofthe voltage—currentdensity characteristic curve was presented． As the resultofwater dissociation and machiningexperiments，thefactorsaffecting currentdensityweredetermined． Keywords：ultra—purewater；electrochemicalmachining (ECM )；cationexchangemembrane 规 电解液的电解加工构想_l2]，显示 了其在微细、精 丘 密加工领域 良好的应用前景．常温、常压下，超纯 超纯水 电解加工是在常规 电解加工原理的基础 水 中OH～浓度 只有 10 mol·L ，在 电场强度 上，利用超纯水作电解液，并采用强酸性阳离子交 为4×10V ·m 的条件下，电流密度只能达到 换膜来提高超纯水中OH 离子的浓度 ，使 电流密 10 A ·cm 数量级 ，达不到 电解去除材料的条 度达到足够去除材料 的一种新型 电解加工工艺方 件．但通过强酸性阳离子交换膜促进纯水的解离而 法．自20世纪50年代 电解加工问世