用于X 射线光刻对准的图像边缘增强技术 - 光学精密工程.PDF

第 12 卷 　第 4 期 　 光学 精密工程 Vol . 12 　No . 4 2004 年 8 月 　　 　　　　　　　　 　　Optics and Precision Engineering 　　　　　　　　　　 Aug. 2004 ( ) 文章编号 　1004924X 2004 用于 X 射线光刻对准的图像边缘增强技术 王德强 , 谢常青 , 叶甜春 ( 中国科学院 微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室 , 北京 100029) 摘要 :提出了用于提高 X 射线光刻对准系统自动对准效率和对准精度的图像边缘增强技术 ,并进行了数值分析 。采用先 ( ) ( ) 单个再整体的分析方法 ,通过三种不同的图像边缘增强技术 , 即索贝尔 SOB EL 算子 、拉普拉斯 LA PLAC 算子以及卷 积等方法对 CCD 系统采集的对准标记图像进行处理 ,得到了每个方法相对应的处理结果 ,并对于处理结果进行了比较 分析 。分析比较得出:采用卷积和 LA PLAC 算子相结合的方法 ,即先卷积 ,再利用 7 个算子的LA PLAC 方法进行处理 , 可以将对准系统的自动对准效率提高约 50 % ,使得自动对准时间由原来的20 min 缩短到 10 min 左右 ;系统对准精度的 方差可由0 . 10 μ μ m 提高至 0 . 08 m 。 关 　键 　词 :X 射线光刻 ;对准系统 ;拉普拉斯算法 ;索贝尔算法 中图分类号 : TP3 19 　　文献标识码 :A Image edgeenhanced technique f or Xray l ithography al ignment WAN G Deqiang , XIE Changqing , YE Tianchun ( L ab of N anof abricat ion an d N ovel Dev ices I n teg rat ion , I ns t it ute of M icroelect ronics , Chi nese A cademy of S ciences , B eij i ng 100029 , Chi na) Abstract : The image edgeenhanced technique was p ropo sed to imp rove t he automatic aligning efficiency and aligning accuracy in t he Xray lit hograp hy aligning system , and t he numerical analysis was given . After analyzing individuals , and t he whole view of t he image edgeenhanced techniques was given , t he novel met hod were p resented . The image obt ained from t he CCD image system is p rocessed wit h t hree image edgeenhanced met hods , which are SOB EL operator , LA PLAC operator and convolution . Then t he p ro cessed result s of t he novel met hods were comp