InGaAsMSM_PD肖特基势垒增强层的研究.pdfVIP

, 期 应 用 科 学 学 报 第 卷 第 年 月 ! 一 肖特基势垒 关 强 增 层的研究 朱红卫 史常忻 陈益 上海交通 学 大 , 通过在 型 光吸收层 金属 触间加入 型 势垒增强层 的 法 摘 要 与 接 方 来 提 势垒 , 暗 流 为下 , 对 进 了 论和实 高 高度 使其 电 大 降 并 其 行 理 验研究 词 光 电 测 垒增强层 关键 探 器 势 一 一 一 , 属 导 属 测 于光 吸 于 金 半 体 金 光电探 器 对 纤通讯有极大 引力 由 其本 构固 、 , 以 一 , 身结 有的高速 低电容特性 及器件的制作工艺与高速 工艺完全兼容 使 于 , 以 展 于 其十分适合 制作高性能的单片光电子集成电路 所 发 十分迅速 但是由 , , 属 垒 川 导 暗 流和 材料与金 接触 其 肖特基势 高度仅 致大的 电 过量噪声 不同 型 垒 强层 出 加以实施 归, 晶 匹 型图、 各种 类 的势 增