スライサー型面分光素子の开发.ppt

* * * * * * * * * * * * * * * スライサー型面分光素子の開発 国立天文台 先端技術センター 尾崎忍夫 2012/02/22-23 可視赤外線観測装置技術ワークショップ 共同研究者 FOCAS IFU 田中陽子、服部尭、宮崎聡、山下卓也、岡田則夫、三ツ井健司、福嶋　美津広（国立天文台） SWIMS IFU 本原顕太郎、小西真広、高橋秀則、舘内謙（東大）、吉川智裕（京産大） 東大TAO用近赤外線分光撮像装置 SWIMS すばる望遠鏡 可視光分光撮像装置FOCAS 面分光 空間方向２次元、波長方向１次元の三次元データを一度の露出で取得する観測手法 広がりを持った天体の詳細研究に最適 最近では光赤外の重要な観測手法の一つとなってきた Y λ X IFS wikiより ３つの面分光のタイプ スライサー方式は受光面を一番有効活用できる IFU光学レイアウト スライサー 瞳ミラー 擬似スリット ピックアップミラー 拡大光学系 スリットミラー 上面図 側面図 望遠鏡 分光器へ 望遠鏡焦点面 ～180mm スカイ用スリット パラメーター FOCAS IFU SWIMS IFU 検出器 ２個 検出器 ４個 視野 13.5” x 9.6” スカイ用スリットあり （10” x 6.8”） 14” x 10.4” スライス幅 0.4” 0.4” 0.4” スライス長さ 13.5” 10” 14” スライス数 24 17 26 既存の分光器を利用するメリット?デメリット メリット 低コスト 分光器開発の手間を省ける デメリット スペース?重量の制限が厳しい 光学系アライメント精度が厳しい 代表的な加工方法 ガラスを研磨加工 長所 表面粗さが小さい こなれた手法 短所 一枚一枚製作しなければいけない アライメントが難しい 非球面加工が難しい 金属を超精密加工 長所 一体加工ができる 非球面加工が比較的容易 短所 表面粗さ?形状誤差が大きい FOCAS IFU 切削金属表面に誘電体多層膜を施すのが難しいから SWIMS IFU FOCAS IFU高反射率誘電体多層膜コーティング FOCAS IFU単体で80%以上のスループットを目指すなら、1面当たり98%以上必要 一面あたりの反射率 FOCAS IFU軸外し楕円面の試作 QED technologyの磁気粘弾性流体研磨機 外形サイズ：6.5mm×8.0mm （外形交差 ±0.05mm） 有効径：φ6mm以上　（ビーム径は5mm程度） 形状　軸外し楕円面 　　　　　　（サグデータは天文台より提供） 曲率半径：77.0511mm （球面フィットの結果） 表面粗さ：2nm rms 以下 形状誤差：150nm PV以下 面取り　0.1C コーナー面取り　0.3C １つは目印のために大きめに面取りする 検証項目 位置誤差（外形に対する楕円面の位置） 形状誤差 縁ダレ FOCAS IFU軸外し楕円面試作結果 理想形状からのずれ　PV 155nm ZEMAXによる面精度とスポットスポットRMS半径の関係 PV 155nmの面精度ならスポット劣化はほとんどない FOCAS IFUスライスミラー試作 仕様 厚み 1.04mm 長さ 41mm スライス数 24 曲率半径 500mm 波長範囲 370-1,000nm 反射率 98% FOCAS IFUスライスミラーの試作結果 210mm 310mm 多層膜のはがれ? 側面の洗浄不足 典型的なエッジ 100mm以上の欠けは２４個のスライスミラー中で３箇所しかなかった。 この大きな欠けでも0.4”切り出しのときに4%の光量損失にしかならない。 製作手法は確立した FOCAS IFUスライスミラーアライメント冶具 先端技術センターの超精密加工機で加工 FOCAS IFU冶具試作で判明した問題点 ダイヤモンドバイトの取り付け精度、もしくは製作精度が問題 ワークは固定 ダイヤモンドバイト 2mm 40mm傾斜している FOCAS IFUバリ 端でバリが出ている箇所が何箇所か見られた。 面取りすることでバリを防げる FOCAS IFU高いアライメント精度が必要 結像性能 瞳ミラー?スリットミラーが全ての光を拾う 隣り合う擬似スリットが重ならない 分光器内光学系でのケラレ量を最小にする スライスミラーアレイ 角度 0.005°以下 横ずれ 0.05mm以下 瞳ミラーアレイ 角度 0.03°以下 横ずれ 0.06mm以下 スリットミラーアレイ 角度 0.03°以下 横ずれ 0.04mm以下 この二つが厳しい 各ミラーアレイに対する個別の誤差要素の許容誤差（暫定値） FOCAS IFU今後の方針 スライサー組