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工业视觉机器人在单晶硅电池片pvd工艺中的应用!.pdf
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工业视觉机器人在单晶硅电池片
PVD工艺中的应用
郭晋竹，李大伟，乔雷，郑凯
(中电科风华信息装备股份有限公司，山西太原030024)
摘 要：介绍了单晶硅电池片物理气相沉积(PVD)工序封装解决方案及工艺流程。通过设计
基于视觉技术的SCARA工业机器人系统。实现了封装流程的自动化，解决了人工封装过程效
率低、成本高、容易污染硅片的问题。并对该系统进行了分析优化，给出了提高精度、速度的优
化方案。
关键词：单晶硅电池片、PVD工艺、工业视觉机器人
中图分类号：TP242．2 文献标识码：A
ofIndustrialVisionRobotin
Application
SiliconSolarP形纱Process
GUO Kai
Jinzhu，LIDawei，QIAOLei，ZHENG
Information 030024，China)
(CETCFenghua EquipmentCo．，Ltd．，Taiyuan
Abstract：Introducesthe solutionand flowof SiliconSolarPVD
packing process Monocrystalline
industrialvisionrobot the and
Process．Design system，toautomatepackingprocess，improve
efficiency
and the forwardsolutionof and
quality．Analysisoptimizesystem，put improvingprecision
speed．
silicon visionrobot
solar；PVD
Keywords：Monocrystallineprocess；Industrial
传统的工业机器人通过预先设定指令动作， 控制、视觉技术与工业机器人系统集成等方面给
在结构化环境中完成固定化工作，缺乏对产品和 出整体解决方案，并重点针对生产效率、产品品质
环境的适应性，这极大地限制了机器人的应用…。 关键环节，给出提高速度精度的优化方案。
随着多学科技术的交叉发展，尤其是视觉技术的
融合，使得工业视觉机器人在高速高精度搬送作 1单晶硅电池片PVD工艺封装解决方案
业中具有人工劳动力不可比拟的优势。论文针对
单晶硅PVD工序需求，从机械手结构设计、电气 HIT异质结单晶硅电池，具有低成本、高光电
收稿日期：2017．03．02
万方数据
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转换效率的优势。HIT电池制备过程中，需要通过
溅射法完成PVD(物理气相沉积)工序，使硅片双
面沉积氧化物透明导电薄膜，以保证电池片的光
电特性，提高电池片的光电转换效率【21。在实际的
生产过程
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