151 纳米tio2薄膜的制备及其光谱特性研究 - 本原扫描探针显微镜 .pdf

纳米 TiO2 薄膜的制备及其光谱特性研究 郝丽媛 , 周炳卿 , 韩 　兵 , 陈　霞 , 李力猛 , 那 日苏 , 王丽娟 ( 内蒙古师范大学 　物理与电子信息学院 , 功能材料物理与化学自治区重点实验室 , 呼和浩特 　0 10022) n c 摘 　要 : 采用溶胶 凝胶法和旋转涂膜工艺 , 以普通玻璃为衬底 , 制备均匀 、透明的 TiO2 纳米薄膜 。利用 . X 射线衍射仪 ( XRD) 、原子力显微镜 ( A FM) 和紫外 可见光谱 ( U V/ vi s) 对 TiO2 进行表征 。通过 500 ℃、 600 ℃、700 ℃、800 ℃和 900 ℃恒温烧结 2h 后 XRD 测试表 明: 经 500°C 退火得到 TiO2 粉末为锐钛矿 晶相 , m 800 ℃转化为金红石相结构 , 900 ℃出现了金红石相与板钛矿相的混合晶相 。通过 A FM 观测 , 薄膜的平均粗糙度 为 1. 7 1 nm 。通过紫外可见光谱分析 , 探讨了影响 TiO2 纳米膜厚度和禁带宽度度的各种因素 。结果表明: 涂膜 o 次数 、热处理温度等将直接影响二氧化钛薄膜的紫外可见光谱和禁带宽度 。 c 关键词 : TiO2 纳米膜 ; 溶胶 凝胶法 ; XRD ; 紫外 可见光谱 . 中图分类号 : O6 124 文献标识码 : A 　 文章编号 : 1009 5624 (2009) 05 00 17 06 m p紫外防护 、火灾报警 、地震发光现象的监测及临震 s 预报 、高密度存储系统中的数据读出等诸多领域具 1 　引言 . 有广泛的应用[ 1 5 ] 。 紫外波段的光传感器具有抗干扰能力强和适于 紫外光的波长较短 , 适合研制紫外波段的光传 w 感器的最佳的材料应是一些禁带宽度较宽的半导体 恶劣环境等优 良的特性被广泛应用于军事 、航天 、 环保等许多工业控制领域 。军事上 , 可用于导弹 、 材料 。TiO2 作为一种宽禁带半导体材料 , 对可见 w 光几乎不吸收 , 对 340nm 以下紫外光具有很好的 飞机的尾焰探测跟踪 , 具有高的抗干扰性 ; 也可作 为太空飞船轨道中太阳紫外光的探测器 ; 环保上 , 吸收特性 。而且其化学稳定性和耐候性良好 , 制备 w ( 随着臭氧层的破坏 , 对太阳光紫外线辐射的监测愈 工艺相对成熟 , 被广泛应用于抗紫外线吸收剂 化 加重要 。此外 , 传感器亦可对有害工业废气及汽车 妆品、透明包装材料 、遮阳材料等) 。近年来 ,