浓缩处理技术 - 经济部工业局产业资讯网.pdf

濃縮處理技術 隨著高科技產業的快速發展及建造，半導體製造業及光電業排氣中揮發性有機廢 氣之處理引起了廣泛的討論。由於其排氣量大，組成複雜 高、低沸點混合，如：( IPA 、 Acetone 、PGME 、PGMEA 、MEA 、DMSO)及排放濃度屬低至中範圍 (50~1,500 ppmv as CH 的特性，造成選擇處理技術的困擾。一般在處理大風量低濃度的廢氣時，多會結) 4 合兩種以上的處理方式 圖( 1) ，先將廢氣風量下降及同時濃度增加；再行後處理來降 低操作費用。例如：將廢氣以轉輪或流體化床吸附濃縮後，再以燃燒焚化或冷凝等的 方法作終處理。其中濃縮設備則僅有沸石轉輪濃縮及流體化床濃縮兩種技術經實廠運 作與文獻研究探討顯示是效率及穩定度最為可靠之技術。 PhotoPhoto 排放排放 POUPOU 乾淨空氣排放至煙囪乾淨空氣排放至煙囪 (8D/2D or 1.5D/ 0.5(8D/2D or 1.5D/ 0.5DD 中央洗滌塔中央洗滌塔 冷凝冷凝 溶劑回收溶劑回收 廢廢 氣 氣 集 集 理 理 處 處 預 預 附 附 吸 吸 縮 縮 濃 濃 氣氣 焚化焚化 COCO +H+H OO排放排放 ••冷凝法冷凝法 22 22 ＊鰭管式＊鰭管式 ＊省能式套裝是設計＊省能式套裝是設計 POUPOU ••DemisterDemister ••Pre-filterPre-filter 轉輪式：沸石/活性碳轉輪式：沸石/活性碳•• ••直燃式直燃式 ＊不織布/紙＊不織布/紙 轉環式轉環式•• ••恢復式恢復式 ＊蜂巢狀大孔吸附劑＊蜂巢狀大孔吸附劑 固定床( 沸石)固定床( 沸石)•• 蓄熱式蓄熱式•• ＊不鏽鋼網＊不鏽鋼網 ••流體化床(活性碳)流體化床(活性碳) StripperStripper 觸煤式觸煤式•• 資料來源：華懋科技