薄膜的法制备与表征 - 无机材料学报.pdf

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 薄膜 的 法制备 与表征 刘 晓新 , 靳正 国, 步 绍静, 赵 娟 , 程 志捷 天 津 大 学材 料 学院 先进 陶 瓷 与加 工技 术 教 育部 重 点 实验 室 , 天 津 一 摘 要 采用液相薄膜制备工艺 连续离子层 吸 附反应 法 , 在 室温 下于玻璃衬底上制 备 了 薄膜 对薄膜 的表 面形 貌 , 薄膜 的生长速率 以及 热处理 与薄膜 的成相及其 电阻率 的 关系进行 了观察和分析 实验结果表 明 薄膜表面较致密 , 生长速率为 , 随循环次 数 的增加 , 沉积粒子 的尺寸趋 于增大 室温下沉积 的 薄膜为非 晶态 , 经热处理后薄膜 的结 晶度提高 , 阻 显 下 此外 , 文章结合实验对 膜 的生 长机理进行 了初步 的 论 电 率 著 降 薄 讨 关 键 词 薄膜 , 法 , 制备与表征 生长机理 中图分类号 文献标识码 引言 随着材料应用及 其制备技术 的发展 , 薄膜材料 已成为 无机 功 能材 料科学界极为重要 的 组 成 材 以其 的光 电性 能 广泛应用 其 , 阳能 电池 领 部分 薄膜 料 优异 被 中 薄膜太 域是 · 其重要 应 用领 域之 一 , 如