半导体制造批量计划调度问题的量子粒子群算法研究.pdfVIP

机械设计与制造 第6期 6 Manufacture 2009年6月 MachineryDesign 文章编号：lool一3997(2009)06—o006一03 半导体制造批量计划调度问题的量子粒子群算法研究 宋书强叶春明 (上海理工大学管理学院，上海200093) ReseanchOnthebatch in schedulingprObIem r-ng baSed0n Swarmr-thm qUantumpartiCle ak】O SONG Shu-qiang，YEChun—IIling (Schoolof of forScienceand 200093，china) Management，UniVersityShanghai Technology，Shanghai 【摘要】对半导体制造批量计划调度问题进行研究，提出了一种收敛速度快、全局性能好、不易陷 入局部最优的智能迭代算法一量子粒子群算法来实现对该问题的求解。该算法采用。一1编码方式，来实现 对10t的分批和分配，并以最小完工时间为目标函数值进行寻优。最后通过具体算例，对该算法进行了仿 真验证，结果表明，在求解半导体制造批量计划调度问题时，量子粒子群算法要优于二级蚂蚁算法、DSH 算法，从而验证了该算法的可行『生和有效性。 关键词：量子粒子群算法；批量调度；半导体制造 【Abstract】％st“咖￡k6妣^sckd以i昭pr06如m轨打疵。蒯酗6Dr—，，“帆形砬furi，谬，犹weg￡脚堪“m fk p口疗幻如s彬研nop砌l如m如凡，QPSO油so助et九蠡pr06如m，埘丘记^^鲫egDodcD聊e‘伊聊e印eed，驴od pe咖丌，协nce伽senrc^inggf06耐optimum觎dgood_Pe咖mt讲zce讥口z，o池，喀zr印pi，峪讯￡7kk以optim“，几 0一l 耽乒n括^fk6眦ks∞d始￡渤眦如n妒舭砌6，，琊i昭ocodi略帆d伽se帆^￡kopti，吨m如n知r tJk zJk tJk fnr召蟹￡旷mi凡im“mcD，，妒如￡幻，lti，n六历n口砂加e姗e口pr∞￡记以讲la加es幻co，班丌，lpe咖rm珊记e in— 矽加凇l扔破了‰res砒ss而伽t胁QPSO泌咖c砌e流sD幻i增￡kpr06ze耽了‰res以拈可si眦zm幻n d幻毗￡胁QPSOpe咖肌6et把rt危∞舭册却^琥mn，以DSH咖一f^耽 fab 中图分类号：THl2。TPl8文献标识码：A l引言 2半导体批量调度问题数学描述 近年来，半导体行业已成为全球发展最快的行业之一。半导 研究的炉管区批调度问题町描述为： 体行业的发展除了需要技术支持外，还需要良好的生产管理。半 有jIf根不完全相同炉管，每根炉管有若干个工艺菜单，不同 导体生产控制问题已经成为近年来人们研究的热点问题，但是由