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仿真技术在晶圆制造光刻区派工中的应用
宁凝，钱省三，孟志雷
(上海理工大学工业工程研究所／徽电子发展中心，上海200093)
摘要：对光刻区的派工法则进行了分析研究。在传统的先来先服务规则的基础上。根据光刻
区的生产特性覆实际情况，以最小化完工时间为目标，主要考虑到减少设备的调整时间，提出一
种启发式综合派工法则。对某晶圆制造厂的一组光刺设备进行实例研究．运用Extend仿真软件
对传统先来先服务规则和启发式综合派工法则分别建立仿真模型，通过仿真得出主要生产性能参
数。结果表明，启发式综合派工法则明显优于现有的先来先服务规则。
关键词：光刻区；派工法则；系统仿真；晶圆制造
中图分类号：1P391．9文献标识码：A
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