含Ti–Al 阻挡层的硅基Na05Bi05TiO3 电容器的结构与 - 硅酸盐学报.PDF

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2017-08-05 发布于天津
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含Ti–Al 阻挡层的硅基Na05Bi05TiO3 电容器的结构与 - 硅酸盐学报

第 44 卷第 10 期硅酸盐学报 Vol. 44 ，No. 10 2 0 1 6 年 1 0 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY October，2016 DOI ：10.14062/j.issn.0454-5648.2016.10.14 含Ti–Al 阻挡层的硅基Na0.5Bi0.5TiO3 电容器的结构与电学性能 1,2 3 1 1,4 1 1 1 1 宋建民，罗来慧，宋安英，魏丽静，代秀红，方晓燕，李振娜，刘保亭 (1. 河北省光电信息材料重点实验室，河北大学物理科学与技术学院，河北保定 071002 ；2. 河北农业大学理学院，河北保定 071001 ；3. 宁波大学理学院，浙江宁波 3152111; 4. 华北电力大学科技学院, 河北保定 071051) 摘要：通过射频磁控溅射法和脉冲激光沉积法，以 Ti–Al 为阻挡层，在(001)Si 衬底上制备了 La Sr CoO (LSCO)/ 0.5 0.5 3 Na Bi TiO (NBT)/LSCO (LSCO/NBT/LSCO)异质结铁电电容器。研究了 Na Bi TiO 铁电薄膜的结构和物理性能。结果表 0.5 0.5 3 0.5 0.5 3 明：Ti–Al 阻挡层为非晶结构，NBT 薄膜结晶质量良好。在 1 500 kV/cm 驱动电场下，LSCO/NBT/LSCO 电容器呈现饱和的电滞回线，具有较大的剩余极化强度(47.9 2 μC/cm )和较小的脉宽依赖性，而且抗疲劳特性和保持特性良好。此外，漏电机制研究表明：当外加电场小于 400 kV/cm 时，LSCO/NBT/LSCO 电容器满足欧姆导电机制，在电场大于400 kV/cm 时，满足空间电荷限流传导机制。关键词：钛酸铋钠薄膜；铁电电容器；剩余极化强度；漏电流中图分类号：O484 文献标志码：A 文章编号：0454–5648(2016)10–1477–05 网络出版时间：2016–09–26 16:52:44 网络出版地址：/kcms/detail/11.2310.TQ1652.004.html Structure and Electrical Properties of Na Bi TiO Capacitor using Ti–Al as Barrier Layer 0.5 0.5 3