玻璃微鄄纳流控芯片的制备及在蛋白质电动富集中的应用.PDF

Vol.33 高等 学校 化 学 学报 No.5 2012年5月 摇 摇 摇 摇 摇 摇 CHEMICALJOURNAL OF CHINESE UNIVERSITIES摇 摇 摇 摇 摇 摇 931~936 玻璃微鄄纳流控芯片的制备及在 蛋白质电动富集中的应用 董媛媛,胡贤巧,陈摇 双,庐摇 华,何巧红,陈恒武 (浙江大学化学系,微分析系统研究所,杭州310058) 摘要摇 发展了一种以“二次刻蚀冶技术制备玻璃微鄄纳流控芯片的新方法. 首先,采用紫外光刻和化学湿法刻 蚀技术在玻璃基片上加工微米深度的微通道;去除剩余的光胶后,在刻有微通道的基片上旋涂一层新的光 胶;再通过二次紫外光刻和湿法刻蚀在该基片上加工深度小于100 nm 的纳通道;最后,采用室温键合技术, 将带有微纳结构的基片与盖片封合制成玻璃微鄄纳流控复合芯片. 利用本方法可以在普通化学实验室以简易 的设备制得具有微鄄纳米复合结构的玻璃芯片. 将此玻璃微鄄纳流控复合芯片成功地应用于以电动离子捕集技 术富集荧光素钠异硫氰酸酯(FITC)标记的人血清蛋白(HSA). 结果表明,对于0郾5 mg/ mL 的FITC鄄HSA,30 s 内富集倍率可达到200倍以上. 关键词摇 芯片加工;二次刻蚀技术;微鄄纳流控芯片;蛋白富集 中图分类号摇 O657摇 摇 摇 摇 文献标识码摇 A摇 摇 摇 摇 DOI:10.3969/ j.issn.0251鄄0790.2012.05.012 [1] 近年来,随着微流控芯片的迅猛发展 ,纳流控芯片(芯片通道至少有一维是纳米尺度)也引起人 [2,3] 们的关注 . 随着通道从微米量级缩小到纳米尺度,通道的流体力学性能发生了很大变化,例如通道 内流体阻力增大、双电层重叠或部分重叠等. 另外,纳米通道的尺度与生物大分子的大小相近,十分 有利于对生物大分子如DNA和蛋白质的操控. 纳流控芯片在生物大分子离子的富集和分离分析等研 究中具有广阔的应用前景[4~6]. 但是由于纳米通道内流体阻力大,单独使用纳米通道进行分离分析有 一定的困难. 目前,纳流控分析大多采用纳米与微米通道相结合的复合通道网络,利用微米通道将样 品引入,在纳米通道内或微纳米界面进行反应或富集等分离分析操作. 复合微鄄纳流控芯片的加工方式通常有2 种. 第一种方式是在2 片基片上分别加工微米和纳米通 道,然后在显微镜的辅助下将上下两片基片对准封合,形成微鄄纳复合通道(简称“上下对封法冶). [7] Campell等 采用聚焦离子束(Focused ion beam,FIB)在硅片上加工纳米通道,通过模具浇注在聚二甲 基硅氧烷(PDMS)上形成微米通道,在显微镜下将2 片对准,以可逆封合的方式组成具有微鄄纳通道网 [8] 络结构的芯片. Huang等 采用紫外光刻和湿法刻蚀技术分别在2 片玻璃基片上加工微米和纳米通 道,将二者对准后经高温封合形成玻璃微鄄纳流控复合芯片. 利用这种加工方式的关键是封接时2个基 片的准确对准问题. 由于纳米通道过浅,肉眼难以分辨,因此基片对准、封接的难度大,成功率低. 此 外,为避免芯片制备过程中尘埃等颗粒对封接的影响,通常要求在洁净实验室内完成封接操作. 最近, [9] Xu等 开发了一套专用于微鄄纳流控芯片封合的微装配系统,该系统由三维移动平台、基片固定夹和 精密显微系统等组成. 在超净室内,先将分别刻蚀有微、纳通道的2个基片洗净后,利用该微装配系 统,按照基片上的对准标志,可精确定位封接. 第二种方式是将微米和纳米通道加工在同一基片上, [10] [11] 然后用一个空白盖片封合. Kim等 采用两步反应离子刻蚀,Wang等 采用2次光刻结合反应离子 [12] 刻蚀技术,Hug等 采用湿法刻蚀结合深度反应离子刻蚀技术,分别在同一片硅片上加工微鄄纳通道 [13] 结构;Tsukahara 等 则