微型化数字式电容测微仪的分析.pdfVIP

摘要 电容测微技术作为非接触测量微位移的重要手段，近年来得到大范围的推广 应用。但是随着工业体系对测量技术的要求越来越高，在很多应用现场，现有的 电容测微仪由于其体积和功耗的局限，不能满足测量要求。 本论文针对目前传统电容测微仪在实际应用中存在的几个缺点，利用数字式 微型化仪器的设计方法，对电容测微仪进行了全新的设计，并最终研制一套样机。 新型电容测微仪以MSP430为控制核心，体积小巧，主控模块外形尺寸为 续测量7天以上。传感器输出串行数字信号，用普通屏蔽电缆可传输三十米以上， 抗干扰能力强。系统安装两路①3．5mm芯径的传感器进行差动测量时，其漂移 量小于lOnm／h，分辨力lOnm，测量范围±80lam，零点位置距离传感器测量端面 大于90p,m，测量线性度优于0．2％。具体工作内容如下： l、对传统电容传感器进行了研究，并在此基础上根据集成化和数字化思想 提出了一种新型的电容测微仪模型，体现了全新的微型化和低功耗的设计理念。 2、举例说明了设计新型电容传感器各部分机械尺寸的一般步骤，为设计系 列化传感器提供了依据。 3、研究了电容量和被测距离之间非线性关系的拟合方法，使该集成化电容 测微仪达到了纳米级分辨力与测量精度。 4、通过对低