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MEMS悬浮结构TEM样品制备方法.pdf
L一工艺与制造 烹曼晨熙烹出U
M
于会生，段淑卿，虞勤琴
(中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，上海，201203)
摘要：MEMS器件具有镂空和悬浮结构。对悬浮结构进行失效分析遇到了新的挑战。对其进行透射电镜
(TEM)分析的时候，采用传统的样品制备方法会导致样品的变形甚至断裂。本文介绍了两种新颖实用的
制备样品。
关键词：MEMS；TEM样品；样品制备
ofTEM MethodsforMEMS
Study SamplePreparation
Structure
Floating Analysis
YU
Hui—sheng，DUANShu—qing，YUQin-qin
(Semiconductor 201203，China)
ManufacturingInternational(Shanghai)Corp．，Shanghai
MEMSstructurehashollowareasinside arisesforthe
Abstract：The and“floating”structures．Newanaly-
challenge
sis TEM method
of structures．Traditional leadstodistortionanddissociationde-
floming samplepreparationusually
fectsofthe structure．ThisintroducestwoinnovativemethodsofTEM for
floating paper practical samplepreparation
MEMS structure 1used needletoliftoutthe filmandthenuseFIBforTEM
floating analysis．MethodglaSS separated
2 insitu toliftout
membrane used system L—or cutfilm．andthenthe
preparation；methodpickup C-shaped sample
canbe tonormalTEMmembrane
applied preparationprocedure．
words：MEMS；TEM
Key sample；samplepreparation
L-“一 ，^．．，一：……一
万方数据
山川由国集成电路
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■●_ Integrated 一。。…。‘’
nihC一造制与艺工
1 引言 些其他的缺陷。另外，由于镂空的体积小，填充材料
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