体化三轴线加速度计静态标定方法的研究.PDF

维普资讯 第 18卷第 1期 传 感 技 术 学 报 Vo1．18 No．1 M￡Lr． 2005年 3月 CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACrUAToRS A StudyonStaticCalibrationofaMonolithicTriaxialLinearAccelerometer Q删 Peng-an 。，WUZhong-cheng，GEYu ，GEYun-jian ，／1．Departn~ntofAutomation， of~iellceandTechnologyofChina， 23OO25，China； 1 I2．InstituteofIntelligentMachines，ChineseAcademyofScience，Hefei230031，China； f 3． ofComputerSciel7c．_~andInformationEngineering，拖 vna~ yofTechndoyg，麒卿 230009，Ca／ria) Abstract： Thecalibrationofthetriaxiallinearaccelemmetersisdifficultandnon—standard．Basedonthestudyofall E typestructuremonolithic3-D linearaccelerometer，htepapernaalyseshtestructurenadhtecharacteristicmatrixof htesensor，discusseshteprocedureofhtestaticcalibrationinhtegravityfield，ddeuces amahtematicsmodeldetailde ， andgive~hteexperimentresult． Keywords： calibration；triaxial accelerometer；mo nolihtic；characteristicmatrix 一 体化三轴线加速度计静态标定方法的研究 钱朋安 ，吴仲城 ，戈瑜 ，葛运建 f1．中国科学院合肥智能机械研究所，合肥 230031；、 I2．中国科技大学自动化系，合肥230026； } 3．合肥工业大学计算机与信息学院，合肥 230o09 摘要：三维线加速度计标定及性能测试较为困难，且国内外尚无测试标准。针对此，结合所研制的基于厚膜技术E 型一体化三维线性加速度传感器与相关研究工作，在分析传感器结构、性能及特性输出矩阵的基础上，就重力场中 实现静态标定等进行理论推导，并详细推导出标定的数学模型，给出测试结果。 关键词：标定；三轴加速度计；一体化；特性矩阵 中图分类号 ：1P2l2．9 文献标识码 ：A 文章编号：l004—1699(2005)01—0o86一o4 加速度作为描述物体运动状态的一个重要物 篇文献上看，仍主要借助于单维线加速度计的标定 理量，被广泛应用于社会生产实践的诸多方面，如 方法，在对测试设备进行相关 的改进后 ，在重力场 航空航天 、军事 、医疗 、体育与文化娱乐、机械工程 中，通过翻滚试验、离心机试验或振动试验等方法 等。而对加速度信号的获取主要是通过相应的加 来实现对三维线加速度计标定。如文献[1]借助一 速度传感器来实现的。早期的加速度传感器只能 个精密的直角标定架，实现振动台在 X，Y，Z三个方 实现单维的线加速度或角加速度的测量；随着传感