用于微全分析系统的数字化微流控芯片的研究 - 分析化学.PDFVIP

第34 卷 分析化学（FENXI HUAXUE ） 仪器装置与实验技术 第7 期 2006 年7 月 Chinese Journal of Analytical Chemistry 1042 ～ 1046 !!!!!!!!!!!!! ! ! 仪器装置与实验技术 ! ! !!!!!!!!!!!!! 用于微全分析系统的数字化微流控芯片的研究 # 吴建刚 岳瑞峰 曾雪锋 康明 胡欢 王喆垚 刘理天 （清华大学微电子学研究所，北京100084） 摘 要 研制出一种基于介质上电润湿（electrowetting-on-dielectric ，EWOD ）机制的可编程数字化微流控芯 片。它采用“三明治”结构：受控离散液滴被夹在两极板之间；下极板以硅为衬底，掺杂多晶硅作为芯片微电 极阵列，其上涂覆有Teflon! AF1600 薄膜的SiO 作为疏水性介质层；上极板是涂覆有Teflon! AF1600 疏水薄 2 膜的透明电极。通过分析数字化微流控系统的基本操作（离散液滴的传输、拆分及混合）的物理机理和模拟 优化，在35 V 低驱动电压下实现了约0. 35 L 和0. 45 L 去离子水离散液滴的传输和合并，并在70 V 驱动电 压下实现了0. 8 L 液滴的拆分等操作。 关键词 数字化微流控芯片，微机械，表面张力， 介质上电润湿 1 引 言 近年来，以“微机电系统”（micro-electro-mechanical systems ，MEMS ）为基础的“微全分析系统” （micro-total-analysis system ，TAS ）或“芯片实验室”（lab-on-chip ，LOC ）受到人们广泛重视，它把化学和 生物等领域中所涉及的样品制备、生物与化学反应、分离、检测等基本操作单元集成到一块几平方厘米 的芯片上，所需反应试剂一般在微升、纳升甚至皮升量级，并能自动、快速、准确地完成各种复杂、高集成 ［1，2 ］ 度操作，因此它能广泛应用于分析化学、生物医疗、药物诊断、食品卫生及环境监测等领域 。 在微全分析系统或芯片实验室中，对微、纳升液体的精确操作和控制技术是其核心和关键。早期研 究侧重对连续流［3 ～ 6 ］ ［7 ］ 的操作，然而由于传统连续流系统存在一些局限性 ，近年来对离散化微液滴的操 作与控制在国际上日益成为研究的重点。鉴于在微尺度下表面张力相对其它作用力占有主导作用，因 此表面张力驱动器受到普遍关注并成为研究的热点。目前，利用表面张力来操纵离散液滴的方法主要 包括表面活性剂［8 ］ ［9 ］ ［10 ～ 12］ 、热毛细管 和介质上电润湿（electrowetting-on-dielectric ，EWOD ） 等方法。其 中，EWOD 是一种电控表面张力驱动方式。它通过在介质膜下面的微电极阵列上施加电势来改变介质 膜与表面液体的润湿特性，即通过局部改变液滴和固体表面的三相接触角，造成液滴两端不对称形变， 使液滴内部产生压强差，来实现对液滴的操作和控