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飞秒激光烧蚀材料表面产生纳米波纹结构的实验.pdf
第7卷第l期 纳米技术与精密T程 V01．7No．1
2009年1月 andPrecision Jan．2009
NanotechnologyEngineering
飞秒激光烧蚀材料表面产生纳米波纹结构的实验
倪晓昌1，一，孙 琦1，陈永耀1，李海燕3，王清月1，柴
路一，贾 威·
(1．天津大学光电信息技术科学教育部重点实验室，天津300072：
2．天津工程师范学院电子工程学院，天津300222；
3．天津大学电子信息工程学院，天津300072)
摘要：利用飞秒脉冲激光烧蚀可以获得远小于激光中心波长(775
nln)量级的周期条纹．通过多脉冲飞秒激光烧蚀
Ni、Al、cu、Ti和si等材料表面的实验，得到材料表面产生光栅的周期均小于飞秒激光中心波长；采用对比实验，改
J／cm2
变入射光的偏振特性，发现波纹周期方向随入射光偏振方向的改变而改变；不改变激光偏振态、脉冲能量为4．2
时，沿波纹周期走向，发现平台移动速度为0．1mm／s时，可获得清晰的551
nm的金属周期结构；最后应用上述实验
结果，在铜片表面制备了长为几十微米、周期为551
nln的微纳光栅结构．
关键词：飞秒激光；纳米波纹；激光烧蚀；光栅
中图分类号：TN24 文献标志码：A 文章编号：1672．6030(2009)01．0047．04
StructureonMaterialSurface
Nano-Ripples During
Femtosecond
LaserAblation
NI
Xiao—chan91#，SUN 1，
Qil，CHENYong—ya01，LIHai—yan3，WANGChing-yue
CHAILul。JIAWeil
InformationScienceand ofEducation
(1．KeyLaboratoryofOpto—Electronic Technology，MinistryofChina，
TianjinUniversity，Tianjin300072，China；
2．SchoolofElectronic and
Engineering，TianjinUniversityofTechnologyEducation，Tianjin300222，China；
3．SchoolofElectronicInformation 300072，China)
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