TiO2-WO3 复合膜制作及光触媒性质之研究 - 成功大学.PDF

第一屆資源工程研討會論文集 403 TiO -WO 複合膜製作及光觸媒性質之研究 2 3 呂信德 黃紀嚴 國立成功大學資源工程系 摘要 光觸媒材料具有氧化分解反應與親水現象，近年來頗重視，若以大面積塗佈在窗 材玻璃上，則可以其較高的反應面積，將汙染物或有害氣體更有效率的分解，且藉超 親水現象也使玻璃能永保潔淨。室外以日光之 UV 波段即可激發光觸媒，若要應用於 室內，需開發至普通照明便可激發之材料。 本研究以真空射頻磁控式電漿鍍膜法共濺鍍鈦鎢 ，製備比例不等之氧化鎢摻雜於 二氧化鈦薄膜，期望得到均勻且摻雜離子以降低能帶間隙的光催化薄膜，並探討鍍膜 的層數、熱處理對於結晶相及摻入氧化 鎢對薄膜的光學與光觸媒特性之影響。 實驗結果顯示以 150W的功率，與1％鎢共濺鍍120分鐘，濺鍍速率為1.25nm/min 之二氧化鈦複合膜具有光觸媒分解甲基藍之特性及超親水性，尤其經350～400℃的熱 處理後，部分結晶成銳鈦壙型TiO2 ，光催化活性增強。實驗證明鎢的摻雜可讓初始和 最終的接觸角降低，且親水狀態也能保持更長的時間 。預鍍SiO2可阻隔光觸媒與基材 間反應的可能，使複合膜的結構不因加 熱的反應而被破壞，也不影響薄膜的透明度。 前言 過渡金屬氧化物由於原子之外電層分佈的影響，具多功能及關鍵性質，可應用在光電磁 材料、觸媒和感測器等等，年前最熱門的莫過於「光觸媒」之應用，其中的二氧化鈦其性能 優越早已是本領域研究最深入的材料，尤其在日本二氧化鈦工業協會的統計中，2000 年時日 本二氧化鈦之生產量為271,885 公噸，其中出貨量264,648 公噸，光觸媒上的消耗用量有明顯 增加之趨勢。人類為減低科技進步所帶給自然環境的污染，或是和病毒對抗執行環境淨化， 成為近年科技界必需努力的課題。光觸媒為一種奈米級之過渡金屬氧化物，在有效光線照射 下，具有表面氧化還原的反應，此氧化力是一般漂白水的數倍，可以應用於建築、廚房用品、 醫療器具、空氣清淨濾網和廚房用品等方面。除了因地球上的陽光與室內照明所含的 400nm 以下的紫外線就可以提供激發光觸媒催化反應所需的能量，不需要再額外浪費能源之優點 404 燃煤底灰添加碳酸鎂製造玻璃陶瓷結晶行為之研究 - 外，光觸媒利用氧化還原產生之電洞所具有之強大氧化力，自水中的游離 OH 基奪取電子， 形成非常不安定的OH自由基來將周圍的有機物進行分解。當 OH自由基遭遇到時，即奪回 失去的電子使本身趨於穩定狀態。有機物被奪取電子後，即完全分解，最後變成二氧化碳及 水散佈在大氣中，因此光觸媒本身並不損耗，可一再重複運用， 堪稱最經濟的環境淨化工具。 另外一個機制是表面親水性經照光後變佳，當水分附著時很容易形成水膜帶走表面污垢，因 此多數製品是以塗佈於其上來賦予光觸媒的機能。 本研究利用連續式真空濺鍍的技術將光觸媒塗佈在窗材玻璃上，提高接觸空氣的面積， 探討摻雜氧化鎢對原本二氧化鈦光觸媒性能的影響，通過半導體的複合除可提高系統的電荷 分離效率，更能拓展其光譜響應的範圍，增加可利用的光頻能量，Ti 與W很容易生成氧的空 缺，故光提供能量後會激發與H O的鍵結，容易產生親水性。另外熱處理的溫度對整個薄膜 2 的結晶相與粒子成長有關，也一併探討。 一、材料與方法 本研究以RF(Radio frequency)射頻供電器供給電漿濺鍍 (Plasma sputtering technology)電 能，實驗步驟以載玻片做基板， 20%的 O 和 80%的 Ar混合氣體作為濺射氣體擊發高純度鈦 2 靶與鎢線，以純度 99.95% 、5 ㎝長、直徑 1 ㎜的細鎢線置於鈦靶上，控制鎢線的數量來得到