技术制造微型电磁继电器的初步研究.PDFVIP

!!# 器件与技术 !!# $%’(% ) *%(+,-.-/0 !#$%’ 技术制造微型 电磁继电器的初步研究 张 鹏，刘 刚，田扬超 （中国科学技术大学国家同步辐射实验室，安徽 合肥 $%$’ ） 摘要：详细阐述了一种微型电磁继电器的设计和初步研制过程。该微继电器主要由电极、悬臂 梁结构和电磁线圈组成。设计过程中考虑了微继电器打开、闭合时电磁力、静电力和悬臂梁回 复力之间的制约关系，即微继电器打开时悬臂梁回复力应大于接触部位的静电力；闭合时电磁 力应大于悬臂梁的回复力。从而推算出电磁线圈的安匝数和悬臂梁结构尺寸的合理范围并选定 了合适的参数，用()*+,-. 技术初步制作了这种微型电磁继电器的主要部分。 关键词：()*+,-. 技术；微型电磁继电器；#$ 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） %’() * !+, !-.,,+ /((/ (.-((’’-(. ()*+, -./01 23 45 ,6,7.)2+485,.*7 +*7)2),641 349)*74.,0 91 !#$%’ .,7:526281 01*2 3456 ，789 2:56 ，%8* ;:56-=: （ ， ， ） !#$%’ ()*+,%#,% -.$#$% /0%,#%,) 1$23,4 $#) %5 (*$3*3 . 63*+%’%7) %5 8+$ 935 3$ /’((/? 8+$ ’9-.)47. ：85 @=AB :C@AD4 E4 FABGBB @=4 F4BA65 H : IA5F H 4D4@CJ:654@A JACC4D:KB :5F @=4 LCAJ4 LC4BB H H:MCA:@A5 N%=4 JACC4D:K AB 5BAB@ H 4D4@CF4B ，: JAC M4:J :5F ADB NO4 :DGD:@4 @=4 4D4@CJ:654@A HC4 ，@=4 4D4@CB@:@A HC4 :5F @=4 C4B@C4 HC4 H @=4 JAC M4:J E=45 @=4 JACC4D:K L4C:@A56 :5F =B4 @=4 L:C:J4@4CB H @=4 JACC4D:K N ;,1 2)0- ：9P-782* ；4D4@CJ:654@A JACC4D:K ；#$ 驱动方式看，微型继电器主要有三类：微静电继 ! 引 言 电器、微热驱动继电器和微电磁 （磁）继电器。 随着 #$ 的应用和发展，微型继电器广泛 微静电继电器较为常见，但这类微型继电器有明 应用于信息处理、通信、重点工程等各个领域。 显的不足，主要问题是静电力是一种表面力，通 微型继电器与传统用于机械继电器的半导体开关 常较小 （微牛顿量级），能产生的位移也较小，这 相比，具有许多优点，如低接触电阻、高绝缘强 就必须提高工作电压并减小极板间距离，从而带 度、低功耗和低成本等。目前，利用#$ 技术 来应用上的限制和工艺上的困难。微热驱动继电 制作的微型继电器在尺寸、成本、开关时间上有 器是基于体膨胀效应，能够提供较大的驱动力， 较大改进，并能和其它电子器件集成在一起。从 但功耗大。电磁力作为一种体积力，一般能产生 收稿日期：/(( !Q!!Q/?