值模拟 - 无机材料学报.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 沪 的大直径直拉单 晶硅 勾形磁场 下生长 的数值模拟 宇慧平 , 隋允康 , 张 峰栩 , 常新 安 , 安 国平 、 , , 吐 北 京工 业 大 学机 电学院 北 京 北 京有 色金 属研 究 总 院 北 京 北 京 工 业 大 学材 料 学院 , 北 京 摘 要 直径 硅 片 的生产技术是 当今硅材料 生产研 究的重要方 向之 一 , 而 晶体生 长 界面 的形状 、 温度分布 、 晶体 中氧 的浓度和均匀性等对熔体流动状 态十分敏感, 采用实验 的方 法来测量熔体 的流动 、 温度场分布是很 困难 的, 因此很难通过实验 的方法获得熔体 的流动是如 , 、 , 何影 响晶体生长 的质量 的 而数值模拟 能提供熔体流动 温度分布等详细 内容 为单 晶硅 的生 , 长提供有利 的指导 本文采用低雷诺数 的 一 紊流模型 对直径 的大直径单 晶硅 生 、 、 长进行 了数值模拟 , 通过熔体在有 无勾形磁场作用 时的流场 温度 场 的分析 , 阐 明了勾 形磁 场影 响熔体流 动 的机理 关 键 词 直拉法 勾形磁场 数值模拟