无尘室洁净度之测试程序与确效作业探讨.PDFVIP

無塵室潔淨度之測試程序與確效作業探討 Procedural Testing and Validation for Cleanliness Classification of Cleanroom 王輔仁 李書哲 張良鉦 李國正 F.J. Wang, S.Z. Li, L.C. Chang, G.Z. Li, 國立勤益技術學院冷凍空調系 摘 要 無塵室所提 供之無塵環 境條件 對現代化製造產 業而言是極 為必須的， 若缺少 此清淨條件之產品 則可能遭受污染或造 成機器故障 。而無塵室在設計建造 完成後需經 完整測試以確保 其能達到當初設計 之規範 ，並且即使在 正式運轉作 業時也能持 續達 到要求等級標準 ，也因 此 ，為了確認無塵 室能滿足原 先設計要 求之汙染等級標準 ，測試程 序及確效作業便顯得格外重要 且關鍵 。然而 ，測試 及確效作業不 僅須遵守 無塵室相關法規設計標 準 ，且在 不同階段狀態下 （即完 工時 ，機器 安裝後及正式運轉時）皆 須能持續 地符合無塵 室等級規格 ；此外 ，其檢驗測試項目繁 多 ，包 括微塵粒子 、濾網洩漏 、壓 差 、氣 流 、溫溼度 、噪 音 、照 度及振動 等測試 ，其中 尤以清淨度等 級測試最為重要 。而清靜度之測試又須在 某 些預先測試 完成下才可進行，且更需輔以各式各樣精 密之量測儀器才能獲致最佳 之量測數據資料 ， 因 此在測試及確效作 業上有相當程度 之複雜性 ，而為確保無塵室能依法規標準 正確地操作 ，建 立標準 測試程序實乃 刻不容緩之要務。 關鍵字 ：無塵 室、測試、確效、 污染控制 Abstract The particlesl-free conditions provided by cleanrooms are essential for much of modern manufacturing industry. Products get contaminated and either malfunction or become hazardous to people without clean conditions. The cleanrooms have to be first designed and constructed, they then have to be tested to ensure they achieve their design specification and continue to do so even at fully operational stage. Therefore, it’s significant and critical to validate that the cleanroom is working correctly and achieving the contamination standards that it has been designed to fulfill. However, the procedural testing and validation for certified industrial cleanrooms have to comply with the cleanroom classification set down at the design stage and ensure the cleanrooms continues to comply with the standard at different occupation states (i.e. as-built, at-rest and operational). It’s also necessary to demonstr