藉微波电浆辅助化学气相沉积法合成氧化锡一维奈米结构之研究.pdf

藉微波電漿輔助化學氣相沉積法合成氧化錫一維奈米結構之研究 藉微波電漿輔助化學氣相沉積法合成 氧化錫一維奈米結構之研究 陳祖望 第一章 前 言 回到母校任教，今年是第三年了，在教學過程中偶爾與學生們提起過去在碩士 班時所做的研究，研究結果其實只獲得一些粗淺的現象，不具重大學術價值，但承 蒙朱校長以及圖書館張主任看得起，大力邀稿，因此將拙著擷取部分內容，與母校 師生分享，文中尚有許多不足之處，還請讀者們見諒。 本論文的產生，絕非一人之力可成，首先要感謝我摯愛的雙親，親愛的曉雯、 耀萱。研究方面首要感謝我的指導教授，施漢章博士，還有研究同伴薛森鴻、黃秉 緯、閔仲強同學，學長張顧齡、謝維仁、王志遠、陳偉鑫、王丞浩，學姊林君純， 學弟林家旭、張宮賓，以及每一位曾經在這過程中，給我支持、給我鼓勵、給我加 油打氣、問候我、關懷我的每一位朋友，謝謝你們長久以來對我的肯定！ 在 1966 年的一部電影「Fantastic Voyage」（中文譯為：聯合縮小軍）中，有著 如下的情節：科學家發展出了可以把一切物質縮小的技術，並利用此技術將醫療人 員與潛艇一併縮成細胞般大小，藉由針筒注射入人體之後，順著血管經歷了一段驚 異奇航，最後到達患處，消滅病灶，達成任務！這樣的情節在當年大概只能被歸為 幻想，但在今日，這已非不可能達成的目標了。 1959 年，諾貝爾物理學獎得主費曼先生（Richard P. Feynman）在美國加州理工 學院的一場演講中，大談將一部大英百科全書的內容抄寫至一個針頭上的可行性， 並說了句令人印象深刻的名言：「這下頭空間還大得很呢！」（原文為：There’s plenty [1] of room at the bottom！） 因此，研究人員常將開啟奈米科技領域的功勞歸於費曼先 生。 第二章 文獻回顧 近年來，一維奈米材料因為具有獨特的性質與應用，已漸漸成為了各界研究的 焦點。比方說，欲研究物質的導電性、導熱性、各項機械性質受尺寸效應或奈米侷 限效應的影響時，此一維結構就是最佳的研究材料。再者，無論是要製造電子、光 電、機電的奈米元件，所需的連結材料或者主要運作的核心，都缺少不了一維的奈 159 成功學報 米材料。早些年，因為很難有效地控制其尺寸、外形、成份與純度，因此比起量子 點或是量子井來說，一維奈米材料的研究一直到近幾年才有較快速的發展。如今雖 然已有許多方法可以合成出均勻的一維奈米結構，但若希望開發出快速且大量地製 備各種材料的奈米級結構，則尚需許多的努力[2] 。 二氧化錫的奈米線（nanowires）或奈米柱（nanorods）已利用許多不同的方式 合成出來，比如雷射蒸鍍（laser-ablation growth）[3,4] 、熱氧化法（thermal oxidation method）[5-8] [9] [10,11] 、磊晶法（epitaxial growth） 、磁控濺鍍法（magnetron sputtering） 、 [12] [13,14] 熔鹽合成法（molten salt synthesis process） 、化學沈積法（chemical deposition） 、 [15] [16-20] 水熱法（hydrothermal） 、溶凝膠法（sol-gel）