- 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
0$ ##( , , ,
RS6 *0$ QS * T;GU94UV ##(
( )
###21(#L##(L0$ # L#$%)2#) M,NM -DOHP,M HPQP,M ###( ,85 * -8VW * HSB *
溅射方法干式处理超导加速腔表面的研究与分析!
!
朱 凤 焦 飞 全胜文 郝建奎 赵 夔
(北京大学核物理与核技术国家重点实验室,重离子物理研究所,北京 ##$%)
( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿)
##$ ’ ( ##$ ) ’
详细研究了利用超高真空氩离子清洗技术发展的一种超导铌腔表面的“干式”处理方法,从微观和宏观角度分
析了溅射处理对铌的表面特性和对超导腔性能的影响 与传统的“湿式”处理方法(化学抛光 和电抛光 )相
* +,- .-
比,干式处理方法具有结构简单、容易控制、没有污染等优点,是一种很有潜力的超导腔处理方法,可以提高超导腔
的性能*
关键词:超导加速腔,溅射,形貌分析,残留电阻比///
: , ,
!## (0 %’## $)#
极和阳极,超导腔为阴极,接负高压,阳极接地、氩离
C 引 言 子的辉光放电形成等离子体,在一定放电电流和放
电气压下,氩离子以较高的能量对铌表面进行撞击、
射频超导腔技术已成为目前加速器研究前沿领 溅射,把超导腔表面的突起、毛刺很快地溅射抛光,
域的首选技术 超导腔的表面状况直接影响到超导
* 起到很好的表面抛光处理的作用* 我们采用结构比
腔的低温性能 目前国际上常用的超导腔表面处理
* 较简单的直流二极溅射,主要参数包括溅射气压、放
方法有高压水冲洗( ),化学抛光( ),电抛光
D-/ +,- 电电流和放电电压等,比较容易控制*
( ),高温热处理等 其中 和 均采用腐蚀性
.- * +,- .- 图 为我们采用的北京大学超高真空直流二极
很强的浓酸,带来工作安全和环境污染的问题,残余 溅射装置,整个系统包括超高真空溅射室、真空系
在超导腔表面的酸液则容易造成超导腔品质因数的 统、溅射电源、进气控制系统(氩气、氮气)等,溅射室
降低 与 相比,抛光效果更好,表面粗糙度减
* .- +,- 的本底真空可以达到低于# I ) -4 * 铌样品和超导腔
小,超导腔的性能更优越 但是, 具有装置复杂、
* .-
的溅射处理就是在此装置中进行的*
造价高、危险性大、耗时长等更多缺点 因此,国际上
*
文档评论(0)