国外MEMS继电器的发展.pdf

第 5期 Vol. 3 No. 5 　 2008年 10 月 Journal of CA E IT O ct. 2008 　 综 　述 国外 M EM S继电器的发展 黄 　正 (中国电子科技集团公司第 40研究所 ,安徽蚌埠 　2330 10) 摘 　要 :介绍了国外 M EM S继电器的最新发展情况 。以静电 M EM S开关 、电磁 M EM S开关 、磁保持 M EM S开关和热 M EM S开关为例 ,描述了 M EM S开关的结构和工作原理 。特别对静电 M EM S开关 和磁保持 M EM S开关 , 给出了有关的理论计算 。给 出了各种类型 M EM S开关的比较 。介绍了 M EM S开关制造方法和射频性能 ,最后介绍了 M EM S开关的应用前景 。 关键词 :M EM S;继电器 ;开关 ;悬臂梁 ;射频 中图分类号 : TN 63　　文献标识码 : A 　　文章编号 :(2008) 0546806 The L a test D evelopm en ts of M EM S Relay in Fore ign Coun tr ies HUAN G Zheng ( The 40 th R esearch In stitu te of CETC, A nhu i B engbu 2330 10 , Ch ina) A b stract: Th is p ap er in troduce s the late st developm en ts of M EM S relay in foreign coun trie s. It take s a s examp le s electro static M EM S sw itche s, electrom agnetic M EM S sw itche s, and m agnetic latch ing M EM S sw itche s and exp lain s their structu re s and op erational p rincip le s. E sp ecially, it advance s related theoreti cal calcu lation s for the latter two sw itche s. It also pu ts forward the fab rication m ethod s and RF p erform ance s of M EM S sw itche s. F inally, it in troduce s the app lication s of M EM S sw itche s. Key words: M EM S; relays; sw itche s; can tilever beam ; RF 0　引　言 ( ) M EM S 微机电系统 继电器是电控的微型机械 开关 。典型的 M EM S单极双掷开关芯片尺寸大约 为 1. 5 mm ×1. 5 mm 。在单个 152 mm ( 6 in) 的圆片 上 ,可以批量生产出大约 7 000 个开关 ;还可以将多 图 1　一个 4 in 圆片的局部 SEM 照片 个器件集成到单一芯片上 , 形成多极开关和阵列 。 采用静 电、磁 、热或压 电力来驱动悬臂梁 的磁开 一个 4 in 片的局部 SEM 照片如图 1所示