支撑光学制造的几何量计量技术分析.pdfVIP

支撑光学制造的几何量计量技术分析.pdf

  1. 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
  2. 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  3. 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  4. 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  5. 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  6. 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  7. 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
支撑光学制造的几何量计量技术分析.pdf

支撑光学制造的几何量计量技术分析 都占钢 四平市计量检定测试所 摘要:在光学制造业中,几何量计量技术大量用于零件质量检测与控制过程, 是一项核心的技术,包含纳米结构的几何量计量及球面、平面、曲面、非球面 及自由曲面的计量。本文主要对支撑光学制造的部分计量技术进行研究, 关键词:光学制造;制造公差;几何量;计量 中图分类号: O43 文献标识码: A 文章编号: 随着更小、更快、更高度集成的光学和电子设备的需求日益增加,存在许 多具有挑战性的问题,在制造光学零件,例如,大尺寸,高数值孔径,大型非 球面零件,对表面粗糙度、表面结构等要严格控制制造公差。三维测量不仅保 证了光学产品的质量,也为制造过程的监测/控制提供了保障,是一项实用的技 术。 1、微/纳米结构的三维测量 有多种技术可用于测量微/纳米结构,包括成像方法和非成象方法。每种方 法都有其优点一方面,但也有缺点在另一方面。光学显微镜作为最经典的方 法,具有快速和容易使用的特点。其中有些是可以执行具有高垂直分辨率的三 维测量。然而,由于光的衍射性质,光学显微镜的横向分辨率也是有限的。使 用高孔径物镜和光源更短的波长是一种有效的方式,以提高其横向分辨率。扫 描电子显微镜具有很高的分辨率,在下降到1.5时,使用的电子能量小于1千 电子伏。但是,它必须在真空中进行,也缺乏三维测量能力,有时还具有破坏 性。电子光学测量系统由低电压的扫描电子显微镜中一个大的真空室和一个 300毫米x-y定位阶段控制的真空激光干涉建立起来的,早在1998年就已经出 现。散射测量能够快速用于直接测量,但是,它需要先进的数学建模工具和数 据评估系统,以解决其存在的问题,其中的几何形状的三维结构是必备的知 识。系统的概念是可变的和通用的,所以,可以执行许多不同类型的测量,例 如,经典的散射仪,椭偏散射仪等。扫描探针显微镜技术允许直接测量三维形 状的纳米结构,既具有高的横向和垂直分辨率,也不具有非破坏性。 1.1计量大范围显微镜 SPM通常有一个小的扫描范围内,一般为几十微米。这一方面极大地限制 了其进一步的应用。为了延长测量量,以及提高校准能力,计量大范围原子力 显微镜的出现使测量体积达到25mm×25mm×5mm。将待测量的样品沿z轴方向 放置在2μm的z压电阶段。z压电阶段的延伸是由嵌入的电容式传感器具有亚 纳米分辨率进行测量的。机械地安装在一个三维(3D)机械定位阶段的运动平 台的z压电阶段,简称为纳米测量机。NMM的运动平台包括三个高精度的彼此 正交的平面镜和一个反射镜角。三个嵌入式零差干涉仪是用来测量运动平台的 位置相计量帧的,分辨率为0.08 nm。自制一种新的原子力显微镜头,被机械 的固定在微晶玻璃柱上。三个干涉仪的测量光束的交点处位于悬臂尖端位置。 在这种方式,测量原理得到满足。在NMM的z压电阶段的详细描述中也介绍了 其他方面。 1.2层厚度的测量 涂层是一个重要的光学部件的制造过程。光层的厚度和均匀性,需要精确 地测量/控制中。有多种技术可用于层厚度的测量,包括光学显微镜,反射计和 椭圆仪。其中,椭偏仪的主要应用的方法之一是能够表征薄膜厚度的单层或复 杂的多层。它可以实现极高的测量稳定性。然而,它的测量不确定度大,对系 统会产生一定的误差,因此该仪器的校准是一个关键问题。 1.3侧壁结构的测量 光学结构的侧壁特性,可能会影响光学部件的性能。例如,在光波导和菲 涅尔透镜,大型侧壁的粗糙度将导致高光散射造成的损失。侧壁结构的测量是 比较困难的。尽管目前由多种显微技术弧测量微纳米结构,但是几乎所有的技 术在侧壁测量时都会遇到问题。如图1示例,原子力显微镜(AFM)和触针的探 针通常有一个尖与锥体或圆锥形状,在图1(a)中,触针永远不会靠近侧壁。 在光学显微镜和电子显微镜下,图7(b)中由于在侧壁或侧壁之间存在多重反 射的反射差导致测量比较困难。在以往,通常采用破坏性切割来测量结构的侧 壁。 (a)原子显微镜和轮廓仪 (b)光学显微镜和电子显微镜 图1 传统测量技术在测量侧壁中的遇到的问题 1.4未来纳米结构的三维测量 虽然大多数原子力显微镜结构提供完美的3D视图,但它们不是真正的3D 测量仪器,这是由多种因素引起的。首先,几乎所有的原子力显微镜探针具有 圆锥形或锥体形状,具有陡峭的侧壁,这是不能够测量三维形状的结构,如图 1(a)所示。其

文档评论(0)

heroliuguan + 关注
实名认证
文档贡献者

该用户很懒,什么也没介绍

版权声明书
用户编号:8073070133000003

1亿VIP精品文档

相关文档