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柔性微图形复制技术的分析
浙江大学硕士论文(2003)
摘 要
(柔性微图形复制技术，是微加工技术发展的新方向，是柔性器件
发展提出的必然要求。作为微加工技术的核心一一传统的光刻技术，
虽然在硅技术中取得了巨大的成功，但由于光刻技术相对苛刻的要求
和限制，它难以运用于柔性器件的制作。上
本文介绍了可用于柔性器件的软光刻技术和微三维定位压控微
流成型技术。论文研究了了软光刻原理及相关技术和PDⅣ[S的成型技
术；探讨了三维定位压控微流沉积系统的基本原理、系统结构和流体
动力学模型，并对沉积图案实验结果的进行了分析，研究了各种参数
的优化问题。
采用不同的方法制各了用于组织工程的聚合物支架和柔性的有
机物FET，并对OFET进行了性能测试。最后，我们讨论了柔性微图形
复制技术的应用前景，并提出了后续研究的方向。
关键词：柔性微图形技术；光刻技术；软光刻技术；柔性器件
●
柔性电子器件；有机物FET
浙江大学硕士论文(2003)
ABSTRACT
Flexible is in
micropattemingtechnologypromising
the
offlexible resultsfrom of
technology
emergence micropatteming development
workhorse
of traditional
microfabrication．However,the
do onflexible
microfabrication--sofllithgaphy,callnothing micropatteming
Weintroducethe thatcarlbeusedinflexible
technology micropatterning
and 3 deminsional
includingsofllithgaphy3DP(pressurecontrolling deposition)
theelucidationof related，and
give
system．We sofilithgraphytheory,technologies
on PDMS．Wealso elaborationof3DP
by
especiallymicropatteming give system
the of of fluidic
system，the dynamicmodel，the
includingconsisting explanation
of line the ofdifferent
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