半导体应变计.PDF

半导体应变计 半导体应变计 半导体应变计是利用硅、锗、锑化钢、磷化镓等半导体材料制成的。具有灵敏系数大（比丝栅式、 箔片式大几十倍，因而输出的信号大）；横向效应系数小；机械滞后小；本身的体积小，便于制作小 型传感器等优点。 半导体应变计型号命名规则 S B 2 - 25 - P - 2 - D 半导体应变计 敏感栅长度 P：灵敏系数为正 （单位：mm） N：灵敏系数为负 0：无引线 2：见图 8-1 3：见图 8-2 2-D：图 8-1, 无镀银丝线， 点焊点 标称电阻 B：改性酚醛基底 3-D：图 8-2，无镀银丝线， （单位：Ω） A：聚酰亚胺基底 点焊点 空：无基底 典型半导体如图 8 示： 金丝 金丝 Φ0.15 Φ0.15 镀银丝 镀银丝 图 8-1 图 8-2 图 8 典型半导体应变计示意图 52 半导体应变计 半导体应变计线性补偿原理 由于柱式及同类型结构的传感器元件横向（泊松比）和轴向的应变不平衡，导致了桥路输出的非 线性误差，而且由于负载之间的非线性，材料的非线性，横向负载的非线性误差，严重影响柱式和类 似结构传感器的精度，因此，我们通过对桥路的修改，进行线性补偿，满足生产高精度传感器的需求。 为了补偿传感器的线性精度，我们通过调整实际桥路的输入电压来实现线性补偿。通常在柱式弹 性体的应变 区域，沿着轴心对称地连接两片半导体应变计，例如线性补偿电阻 RL（如图 9）在供电桥路上， 将两片电阻应变计与相当于 RL/2 阻值的电阻对称连接（如图 10）。 图 9 补偿片的接线区域 图 10 线性补偿桥路及全桥电路 53 半导体应变计 柱式及同类型结构的非线性误差用图像表示出来是一个递减的抛物线。也就是说，在负载增加的 同时，输出将出现递减的趋势。通过线性补偿，输出的递减和输入电压的增加将相互补偿。从而，使 实际的输出成为一条连续的线性直线。 半导体应变计系列