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用于光纤阵列耦合的微透镜阵列的设计和耦合效率的分析 阎嫦玲 鲁平 刘德明 华中科技大学光电子工程系 摘要：本文设计了两种微透镜阵列，分别用于将平行光耦合进16 路间隔为127±0.5um 的单模光纤阵列和 多模光纤阵列。在分析两种微透镜的成像特性以及他们与光纤在存在位置失配时的耦合损耗的基础上，得 出了在装配时需要注意的问题。 关键字：光纤阵列；微透镜阵列；耦合 中图分类号：TN256 文献标识码：A 1．引言 随着光通信技术的飞速发展和DWDM 技术的广泛应用，要求用于光信号传输、处理的器件向低成本、高 集成、阵列化方向发展。光通信中越来越多地要求将排成阵列的光纤出射的发散光束变换为平行光束；或 者将平行光束会聚并高效率耦合入光纤阵列。应用微光学和微细加工技术制作的折射微透镜阵列可实现这 一目的[1]。本文设计了两种分别用于耦合平行光进单模光纤和多模光纤阵列的微透镜阵列，并且分析了微 透镜的成像性能以及与光纤在存在位置失配时的耦合效率。 2 ．微透镜设计 为将平行光耦合进16 路间隔为127±0.5um 的单模光纤阵列和多模光纤阵列，本文考虑用微透镜阵列将平 行光聚焦到光纤阵列各光纤纤芯端面上，这样可以提高光能量利用率。由于平凸透镜以较凸的一面向着平 行光线时，球差几乎能消除．故本文设计时用凸平透镜，如下图1 所示： 图1 微透镜耦合平行光进光纤示意图 设计时本文用的光纤阵列参数如下表一所示： 表一 光纤阵列参数表 阵列中单个微透镜的接收面孔径应尽可能接近127um，且出射光的数值孔径应与光纤的数值孔径NAf相等， 或小于NAf；且透镜后焦面上的爱里斑不大于光纤芯径。对单模光纤阵列而言，透镜出射光束的模场和光 纤模场要能很好地匹配[2]。单个微透镜如下图2 ： 图2 单个微透镜示意图 设计凸平微透镜的接收孔径为120um 时，即d ＝60um，所用二氧化硅玻璃折射率为n2 ＝1.46，空气折射 率n1＝1.0。根据两种光纤阵列的数值孔径对透镜发散角和芯径对光斑的要求，用zemax 设计并分析后， 得微透镜结构参数和性能如表二： 表二 微透镜参数表 3．微透镜性能分析 先分析透镜的成像性质：将实际透镜看成一个孔径无穷大理想透镜和一个与透镜紧靠的衍射屏，此衍射屏 大小即透镜孔径。由物理光学知光波透过衍射屏和透镜后在后焦面上的复振幅分布。设光波透过衍射屏后 的场分布为E(x1,y1)，光波在透镜后焦面上的场分布为 E(x,y)，有： （1） 即透镜后焦面上复振幅分布是衍射屏上光场复振幅的傅立叶变换，也即此时衍射像斑的场分布是透镜孔径 的夫琅和费衍射图样，它可以通过matlab 编程模拟出。根据 （1）式可编程得出两种微透镜后焦面上光场 振幅分布为如下图： 图3 两种透镜后焦面上衍射斑三维分布图 由傅里叶光学知识，可得透镜后焦面上任意径向坐标ri 处复振幅分布为： （2 ） 其中r0=60um,J1(x)为一阶bessel 函数。 利用 （2 ）式算得圆对称的透镜孔径衍射的光斑在径向振幅分布如下图4 ：图中是对应设计的两种微透镜光 斑径向振幅分布。可知用于单模光纤的微透镜衍射斑直径约为8um，与单模光纤纤芯半径差不多。另一种 用于多模光纤的微透镜衍射斑直径约为32.5um，与多模光纤纤芯半径差不多。 图4 透镜后焦面上二维光场分布 4 ．微透镜与光纤耦合效率计算与分析 对两种光纤阵列，有效的耦合首先要入射光束的数值孔径等于或大于光纤的数值孔径，入射光束光斑尺寸 与光纤芯径相当。而且耦合效率还受光纤与透镜的位置误差的影响。对于单模光纤，因其芯径小，除满足 上述要求外，还要考虑光波模式耦合问题。对于多模光纤，可以采用射线理论来分析，不涉及光波模式[7]。 下面对位置误差引起的耦合损耗进行分析。透镜与光纤存在以下几种位置误差：（a ）横向误差；（