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Low-E玻璃镀膜工艺及其镀膜化学品的简析 南通艾德旺化工有限公司研究中心 冯勇，温河丽* 1.前言 随着建筑、汽车、装饰装修、家具、信息产业技术等行业的发展和人们对生活空间环境要求的提高，人们对玻璃的节能环保功能指标也有了较高的要求，其中玻璃功能的改变，也主要采用镀膜方式实现对玻璃的功能要求。 镀膜玻璃也称反射玻璃。镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足某种特定要求。镀膜玻璃按产品的不同特性，可分为以下几类：热反射玻璃、低辐射玻璃（Low-E）、导电膜玻璃等。热反射玻璃一般是在玻璃表面镀一层或多层诸如铬、钛或不锈钢等金属或其化合物组成的薄膜，使产品呈丰富的色彩，对于可见光有适当的透射率，对红外线有较高的反射率，对紫外线有较高吸收率，主要用于建筑和玻璃幕墙；低辐射玻璃是在玻璃表面镀由多层银、铜或锡等金属或其化合物组成的薄膜系，产品对可见光有较高的透射率，对红外线有很高的反射率，具有良好的隔热性能，主要用于建筑和汽车、船舶等交通工具，由于膜层强度较差，一般都制成中空玻璃使用；导电膜玻璃是在玻璃表面涂敷氧化铟锡等导电薄膜，可用于玻璃的加热、除霜、除雾以及用作液晶显示屏等低碳和节能是现在及未来社会对所有企业的主导思想，这种趋势推动了玻璃镀膜技术的快速发展。玻璃镀膜的方法很多，主要有真空磁控溅射法、真空蒸发法、化学气相沉积法以及溶胶—凝胶法等。磁控溅射镀膜玻璃利用磁控溅射技术可以设计制造多层复杂膜系，可在白色的玻璃基片上镀出多种颜色，膜层的耐腐蚀和耐磨性能较好，是目前生产和使用最多的产品之一。真空蒸发镀膜玻璃的品种和质量与磁控溅射镀膜玻璃相比均存在一定差距，已逐步被真空溅射法取代。化学气相沉积法是在浮法玻璃生产线上通入反应气体在灼热的玻璃表面分解，均匀地沉积在玻璃表面形成镀膜玻璃。该方法的特点是设备投入少、易调控，产品成本低、化学稳定性好，可进行热加工，是目前最有发展前途的生产方法之一。溶胶—凝胶法生产镀膜玻璃工艺简单，稳定性也好，不足之处是产品光透射比太高，装饰性较差。3.1 Low-E玻璃镀膜工艺 1998年我国开始实施的《节约能源法》第37条规定“建筑物的设计和建造应当采用节能型建筑结构材料、器具和产品，提高保温隔热性能，减少采暖、制冷、照明的能耗”。因此，具有优良节能保温性能的玻璃在这种形势下脱颖而出。LowE玻璃能有效阻挡远红外热辐射性能，并可根据需要限制太阳直接辐射，是目前公认的理想窗玻璃材料之一。低辐射膜本质上是一种透明导电薄膜，在可见光有良好的透光性，对红外光有很高的反射性。从低辐射膜种类来看，目前主要分为两类:一种是以电介质/金属/电介质为主构成的多层复合膜，但其生产投入的设备昂贵，成本较高另一种是以掺杂宽禁带半导体(如SnO2、TO2、ZnO等)为主的透明导电单层膜。由于有多种金属靶材选择，及多种金属靶材组合，因此，溅射法生产Low-E玻璃可有多种配置。在颜色及纯度方面，溅射镀也优于热喷镀，而且，由于是离线法，在新产品开发方面也较灵活最主要的优点还在于溅射生产的Low-E中空玻璃其u值优于热解法产品的u值，但是它的缺点是氧化银膜层非常脆弱，所以它不可能象普通玻璃一样使用。它必须要做成中空玻璃，且在未做成中空产品以前，也不适宜长途运输。 浮法玻璃在线镀膜技术是在原片玻璃生产线上设置镀膜室，把镀膜设备作为生产线的组成部分，当玻璃处于镀膜温度时，让其通过镀膜室进行镀膜，然后进入退火装置退火，制成玻璃。世纪70年代，英国皮尔金顿公司最早利用CVD法实现浮法在线镀热反射膜，而目前仍在应用于浮法在线镀SnO2膜，以此制备透明导电膜(ITO、FTO)和低辐射Low—E膜。在线镀膜技术的优点主要有:生产过程简单，成本低廉产品规格丰富多样生产效率高耗能低热解高温膜性能稳定产品经久耐用。在线镀膜技术中尤以CVD法得到的薄膜质量最好，具有膜层均匀、性能稳定的优点，且用此法污染问题比其它方法较少。在线镀膜玻璃外形美观，控光能力强，已成为现代建筑中不可缺少的、具有独特性能的建筑材料，其投入少、产品附加值高，生产方式灵活。另外，在线镀膜法适应范围广，可用半连续、连续生产过程，能在垂直引上、水平压延、平拉及浮法生产线中实现在线生产。对于陷入困境的玻璃企业来说，利用在线镀膜技术生产具有优良光学性能的镀膜玻璃是企业摆脱困境的有效途径。可以预见，在当今节能要求越来越高的时代，会有更多的工厂利用在线镀膜技术大规模地生产出品种繁多的隔热和遮阳玻璃，以满足建筑物节能和装饰业的需要无论是普通玻璃的镀膜还是ITO、、LOW-E等有特性要求玻璃镀膜都迎来了机会和挑战。为了降低成本占领市场，玻璃镀膜的化学品和技术成了世界各国共同关注的焦点。浮法玻璃在线镀膜对镀膜原料主要有如下几个要求： 1要求原料为气体或易于气化的