锥形梁动态分析.docxVIP

锥形梁动态分析1.结构设计：质量块长度340um，宽度450um，厚度340um，多晶硅密度为，因此在加速度a=4g下，惯性力ma=4.845uN，而锥形梁Fmax2=4.323uN，maFmax2,满足要求。设计正反向气隙厚度均为20um。激励加速度为4×9.8m/s2，作用时间为0.004s。2.仿真：锥形梁力-变形位置关系如上图，梁通过预加力被掰至反向，初始位置在E3处，质量块在激励加速度作用下恢复到位置E1。为了使触点接触压力最大，可以通过设置触点高度使梁在Fmax1处接触触点。3.结果：（1）位移—时间：在未设置触点时，锥形梁在激励加速度作用下能够恢复到E1位置。稳定时位移量disp=9.66um。（2）弹性力—时间：下图可以看出在Fmax2处，弹性力为-4.323uN；在Fmax1处，弹性力为48.38uN。惯性力为39.2uN，所以最大接触压力为48.38+39.2=87.58uN。Fmax1处对应的位移量为7.738um，所以可以设置触点高度为20-7.738=12.262um。（3）根据速度曲线和阻尼力曲线，可以得到Fmax1处对应的速度为0.05311m/s，阻尼力为4.977uN。