空分复用压电自感知执行器执行与传感效果研究.pdfVIP

振 动 与 冲 击 第25卷第5期 JOURNAL.OFVIBRATIONANDSHOCK Vol.25 No.52006 空分复用压电自感知执行器执行与传感效果研究 李 涵，董维杰 ‘崔玉国“ (1.大连理工大学电子与信息工程学院大连 116024;2.宁波大学工学院，宁波 31521) 摘 要 结构振动主动控制可以采用压电自感知执行器。空分复用解a方法是实现压电自感知执行器的一种新 方法，实质是采用几何方法解祸，即将压电片的一个完整电极分割为执行区和传感区以实现自感知。本文以悬臂梁为对 象，以涡流位移计作为标准传感器，对两种电极分割方式的压电片的传感和执行效果进行了实验研究。通过测量压电梁 的频率特性，证明了空分复用的压电陶瓷片同时兼有传感和执行两种功能。实验结果也表明传感区的敏感输出受到执行 区激励电压的静电祸合的影响，利用悬臂梁存在反谐振点的特性，提出了一种定量测量静电祸合的方法，并测定了不同电 极宽度、不同极间隙下的静电祸合系数。本文的工作为采用空分复用的压电自感知执行器进行振动主动控制奠定了 基础。 关键词:压电陶瓷，自感知执行器，空分复用，静电祸合 中图分类号:TP212.12;TB123 文献标识码:A 不平衡情况，设计了由比例调节和相位滞后校正组成的 0 引 言 控制器，有效地抑制了悬臂梁的振动。文献 6【〕提出了 将压电体集成于结构中，压电传感器感知结构的 压电SSA自适应法电桥平衡补偿，这将是未来研究的一 振动，并由其输出通过相应的控制算法确定压电执行 个方向，即研制自适应自感知执行器。文献 7〔〕第一次 器的输人，实现结构的振动控制，是目前智能结构应用 提出电荷驱动下基于观测器的自感知执行方法。此方法 分析中的热点 【1]。传统上压电执行片和感知片是分 优点是能够观测机械端口的力和位移两个变量，可用于 离的，如文献 2〔]，但如果压电感知片贴的位置不当，就 动态、静态位移和应力信息的自我检测，缺点是电路复 会减弱系统的控制效果，严重时会引起系统失稳[3]0 杂，观测的准确性依赖于模型精度。 压电材料的双向可逆变换效应使得一片压电片可同时 文献 8〔」用环形电极分割方式，设计出了集成位移 用作传感器和执行器，即压电自感知执行器(Self- 传感器的LiNb03压电执行器，针对前两阶模态设计了 SensingActuator，简记为SSA)，其优点是可真正实现同 反馈电路来抑制阶跃响应的瞬时扰动。文献 9〔]研究了 位配置，提高控制稳定度;传感器的减少使被控对象附 微机械飞虫的振翼机构，因为受严格的尺寸/重量约束， 加质量降低、结构设计简化，特别适合于传感器不易安 希望智能结构兼有执行和传感两种功能，所以文中采用 装的情况;测量和控制综合考虑突出了能量流、物料流 条形电极分割方式使压电陶瓷弯曲执行器嵌入了传感功 和信息流的集成，优化了系统设计。因而压电自感知 能。我们把这种在一个压电片上通过分割电极为传感区 执行器在结构的振动主动控制、故障诊断、系统辨识及 和执行区来实现自感知执行的技术称为空分复用。空分 MEMS加工技术中有着良好的应用前景。 复用自感知执行技术的优点是:不存在桥路法的阻抗匹 实现自感知执行器的基本思想是在致动过程中提 配问题;保证传感部分和执行部分是精确的同位配置。 取出独立于执行器控制信号的运动状态信息。所以，自 不足之处是:传感电极会受到执行电极的静电藕合，使得 感知执行器的关键问题是感知与执行之间的信号分离。 传感信号存在偏移;另外，在执行器上分割出传感区，可 文献[4〕提出了自感知主动控制概念，并设计了一个桥 能会使执行器的执行效果受到部分削弱。 式电路将感知信号从作动电压中提取出来。电桥法的关 本文通过在一个压电片上进行电极分割同时作为 键是电桥平衡，这取决于换能器阻抗稳定性。优点是原 传感器和执行器，研究了压电SSA的特性。由平行板电 理简明，电路实现较容易，但由于功能材料的电学阻抗