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be 基- 族四元合金对蓝绿激光器发光层载流子的限制作用3
第 19 卷第 7 期 半 导 体 学 报 . 19, . 7
V o l N o
1998 年 7 月 , 1998
CH IN ESE JOU RNAL O F SEM ICONDU CTOR S July
Be 基 - 族四元合金对蓝绿激光器
发光层载流子的限制作用
王善忠 何 力 沈学础
( 中国科学院上海技术物理研究所 半导体薄膜材料研究中心及红外物理国家重点实验室 上海 200083)
( )
摘要 ZnSe 基激光器的退化缺陷 特别是层错缺陷 严重地影响了长寿命器件的获得. 人们开
始将注意力投向离子性较低的Be 基化合物, 希望Be 的加入能有效地改善器件的性能. 由于对
Be 基化合物的了解十分有限, 本文从基本的原子参数出发, 用原子轨道线性组合(L CAO ) 方
法计算了 化合物及其他 族化合物价带的 . 结合带隙的实验值, 给出了 族
Be offset
化合物导带的 . 粗略分析了 基二元化合物用于 载流子限制的可能性. 根据虚晶
offset Be ZnSe
近似, 用插值方法计算了 基四元合金相对于 价带、导带的 . 讨论了 基四元合
Be ZnSe offset Be
金用作活性层和载流子限制层的可能性.
: 6855; : 2520 , 2530 , 4320
PACC EEACC D C J
1 引言
大量实验证明, 在 ZnSe 基蓝绿色半导体激光二极管中, 由于材料的强离子性而在材料
中形成的大量的堆垛层错是导致器件快速退化的重要原因之一. 考察[ 1 ] ZnSe 以外的其它
族化合物, 发现Be s 具有本征闪锌矿结构, 且离子性不但远比 ZnSe 低, 而且低于
[ 1 ]
. 最近, 已经有人开始探索 基合金抑制退化缺陷的可能性. 等 在实验上已经
GaA s Be Zhou
[ 2 ]
获得了完全无堆垛层错的 界面. 等 则用 基合金充当电光约束层及发光
BeT e Si W aag Be
活性层制备的器件已经获得激光输出. 从带隙、晶格常数看, BeT e 的带隙为2 7eV , 晶格基
本与 匹配, 适合充当蓝色活性层;
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